大口径球面计算全息图检测样板的制作研讨.pdfVIP

大口径球面计算全息图检测样板的制作研究 李凤有“2卢振武2孙强2王肇圻1 (1．南开大学现代光学研究所 天津 300071) (2．中国科学院长春光机与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春 130033) 摘要：凸非球面检测问题·直是限制其应用的主要瓶颈，在凹球面上制作出计算全息图，通 过设计使其衍射面与待检凸非球面一致，可实现凸非球面的检测．量化了用于检测凸非球面的球面 计算全息图样板，给出了球面计算全息图样板的位相结构，利用极坐标激光直写系统制作了球面计 II 算全息图，计算全息图的环带定位误差为0．6m，环带线宽误差6％以内，测试结果表明制作的球面 计算全息图的精度，分析了球面计算全息图的制作误差． 关键词：衍射光学；计算全息图；激光直写光刻；凸非球面检测；凹球面全息样板 1．引言 随着应用光学的不断发展，光学系统中采用凸的非球面愈来愈普遍。在天文望远镜的反射光学 系统、气象卫星、资源卫星上主光学系统的反射光学系统均使用凸非球面镜．在口径较小的透射系 统中如聚光系统、投影显示系统、新的照相机光学镜头，眼科医生用的眼底镜等也都使用凸非球面。 凸非球面检测是一直未得到很好解决的难题之一。对特殊的二次曲面如抛物面、双曲面，可采 用无像差点法检验。但有时使用的辅助光学元件尺寸是被测件的几倍使检测成本过高，甚至是不可 能的。对不具有无像差点对的非球面，可采用零检验方法．这对凸非球面来说，由于检测时光在凸 非球面的后面入射到非球面上，因此，除需制作零透镜之外，还要求制作非球面的材料均匀性特别 好，非球面的另一个表面也要加工到非常高的精度，这无疑增加了费用和制作难度。 Ⅱ汀PI。A髓 图1用cGH样板检测凸非球面示意图 为解决凸面非球面检测的难题，美国的Arizona大学利用衍射光学元件的制作技术，把计算全 息图(CGH)制作在凹的球面上，使其等效为一个凹非球面，用此可对大口径的凸面非球面进行检测。 俄罗斯科学院与美国Arizona大学光学中心联合开展球面CGH的激光直写工艺研究，以实现全口径 非球面检测。目前国内也开展了应用球面CGH检测凸非球面的研究工作，且已具备了制作球面CGH 的能力。本文以检测光学系统为例，根据检测样板表面位相分布和获得最大检测干涉条纹对比度的 686 条件，设计了球面检测样板上的CGH，介绍了利 用激光直写光刻技术制作了球面CGH样扳的工艺 过程和关键技术，进行了实验检测． 2．球面CGH的设计 通常用球面CGH样板检验凸非球面的光学系 统如图1所示．光波经过照明透镜到达检测样板的 cGH面时，通过设计照明透镜和检测样板，0级光 透过并垂直入射到待检非球面，此光波返回作为被 图2球面CGIt样板二元面的位相分布曲线 检光波；另一部分光经过检测样板上的CGtl面衍射 返回，选取1级光波，此级次衍射光波面与理想的待检凸非球面相吻合，作为参考光，其它级次的 衍射光在1级光波的焦面被光阑遮掉。被检光波和参考光波的干涉条纹经成像透镜成像，被CCD相 机记录并处理，从而得到待检凸非球面的面形精度． CGH面的直径为llOmm，曲率半径为520mm。球面样板的二元面的位相分布曲线如图2所示。 需要把样板上二元面连续的位相以2石为周期进行二值化，从结果可知，在直径103mm的球面 内CGH样板上共有180个环带周期，每一个周期由透射光的和反射光两部分环带构成。最小环带周 期宽度是129pro。检验样板上的CGH选择金属铬来形成环带，刻线环带宽度被选择使检验与参考 波前的强度匹配，给出高对比度的干涉条纹图样。为了获得高对比度的干涉图样，需调节球面CGH 样板上刻线的占空比(D铂／＆曰为刻线环带宽度．S为周期环带宽度，刻线为环带反射部分)，使 参考光与检验光的强度相等，即两束光的产生干涉图样对比度为l，经计算得已知刻线与环带的比 值为O．2，所以球面CGH样板上最小的刻线宽度为25．81am。 在检测系统中最敏感的元件是cGH样板，CGH样板上环带刻线的位置误差会完全引入到检测误 差内，由CGH样板上环带刻线位置误差所