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大口径球面计算全息图检测样板的制作研究
李凤有“2卢振武2孙强2王肇圻1
(1.南开大学现代光学研究所 天津 300071)
(2.中国科学院长春光机与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春 130033)
摘要:凸非球面检测问题·直是限制其应用的主要瓶颈,在凹球面上制作出计算全息图,通
过设计使其衍射面与待检凸非球面一致,可实现凸非球面的检测.量化了用于检测凸非球面的球面
计算全息图样板,给出了球面计算全息图样板的位相结构,利用极坐标激光直写系统制作了球面计
II
算全息图,计算全息图的环带定位误差为0.6m,环带线宽误差6%以内,测试结果表明制作的球面
计算全息图的精度,分析了球面计算全息图的制作误差.
关键词:衍射光学;计算全息图;激光直写光刻;凸非球面检测;凹球面全息样板
1.引言
随着应用光学的不断发展,光学系统中采用凸的非球面愈来愈普遍。在天文望远镜的反射光学
系统、气象卫星、资源卫星上主光学系统的反射光学系统均使用凸非球面镜.在口径较小的透射系
统中如聚光系统、投影显示系统、新的照相机光学镜头,眼科医生用的眼底镜等也都使用凸非球面。
凸非球面检测是一直未得到很好解决的难题之一。对特殊的二次曲面如抛物面、双曲面,可采
用无像差点法检验。但有时使用的辅助光学元件尺寸是被测件的几倍使检测成本过高,甚至是不可
能的。对不具有无像差点对的非球面,可采用零检验方法.这对凸非球面来说,由于检测时光在凸
非球面的后面入射到非球面上,因此,除需制作零透镜之外,还要求制作非球面的材料均匀性特别
好,非球面的另一个表面也要加工到非常高的精度,这无疑增加了费用和制作难度。
Ⅱ汀PI。A髓
图1用cGH样板检测凸非球面示意图
为解决凸面非球面检测的难题,美国的Arizona大学利用衍射光学元件的制作技术,把计算全
息图(CGH)制作在凹的球面上,使其等效为一个凹非球面,用此可对大口径的凸面非球面进行检测。
俄罗斯科学院与美国Arizona大学光学中心联合开展球面CGH的激光直写工艺研究,以实现全口径
非球面检测。目前国内也开展了应用球面CGH检测凸非球面的研究工作,且已具备了制作球面CGH
的能力。本文以检测光学系统为例,根据检测样板表面位相分布和获得最大检测干涉条纹对比度的
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条件,设计了球面检测样板上的CGH,介绍了利
用激光直写光刻技术制作了球面CGH样扳的工艺
过程和关键技术,进行了实验检测.
2.球面CGH的设计
通常用球面CGH样板检验凸非球面的光学系
统如图1所示.光波经过照明透镜到达检测样板的
cGH面时,通过设计照明透镜和检测样板,0级光
透过并垂直入射到待检非球面,此光波返回作为被
图2球面CGIt样板二元面的位相分布曲线
检光波;另一部分光经过检测样板上的CGtl面衍射
返回,选取1级光波,此级次衍射光波面与理想的待检凸非球面相吻合,作为参考光,其它级次的
衍射光在1级光波的焦面被光阑遮掉。被检光波和参考光波的干涉条纹经成像透镜成像,被CCD相
机记录并处理,从而得到待检凸非球面的面形精度.
CGH面的直径为llOmm,曲率半径为520mm。球面样板的二元面的位相分布曲线如图2所示。
需要把样板上二元面连续的位相以2石为周期进行二值化,从结果可知,在直径103mm的球面
内CGH样板上共有180个环带周期,每一个周期由透射光的和反射光两部分环带构成。最小环带周
期宽度是129pro。检验样板上的CGH选择金属铬来形成环带,刻线环带宽度被选择使检验与参考
波前的强度匹配,给出高对比度的干涉条纹图样。为了获得高对比度的干涉图样,需调节球面CGH
样板上刻线的占空比(D铂/&曰为刻线环带宽度.S为周期环带宽度,刻线为环带反射部分),使
参考光与检验光的强度相等,即两束光的产生干涉图样对比度为l,经计算得已知刻线与环带的比
值为O.2,所以球面CGH样板上最小的刻线宽度为25.81am。
在检测系统中最敏感的元件是cGH样板,CGH样板上环带刻线的位置误差会完全引入到检测误
差内,由CGH样板上环带刻线位置误差所
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