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V01.19
第19卷第5期 传感技术学报 No.5
AND
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS Oct.2006
ofFactors theThermal of
Analysis Affecting Conductivity
theMolecular SimulationMethod
Using Dynamics
HUHanl,CHENMin—hual,CHEN
Yun一知i1’2+
Mechanical
of Engineering,Southeasttiniversity,Nanjing210096,China’
,1.College 、
l MEMSEducation 210096,China/
\2.Keyaboratoryof of Ministry,SoutheastUniversity.Nanjing
Abstract:Thethermal of filmswasstudiedan molecular
conductivitysuperlattice usingequilibriumdynam-
icssimulationmethod,andthethermal oftwomaterials the wascalcu—
conductivity composingsuperlattice
lated factors the thermal ofthinfilmsdiscussedinclude
respectively.The in-plane conductivity
affecting
themassof well thelatticeconstant,etc.Thesimulationresultsshowthatthe
particles,thedepth,and
twodifferentmaterials the havea littleaffectiononthethermal toeach
buildingup superlattice property
inthe ofthe materialswillaffectoneanotherthethermalcon—
other.However,thewell two
change depth
of strain intheinterfacesofthe
becausethelatticemismatch,the
ductivitygreatly,and appears
tice.thus anobviousmodificationo
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