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18 4 真空与低温 第 卷 第 期 228 Vacuum ＆ Cryogenics 2012 12 年 月  用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性 1 2 2 2 2 ， ， ， ， 刘洪金 池华敬 郭 帅 陈 革 章其初 ( 1． ， 253000 ; 2 ． ， 253000) 山东温屏节能玻璃有限公司 山东 德州 皇明太阳能股份有限公司 山东 德州 : PEV-1 Ar ， 摘要 采用 型压电陶瓷阀作为溅射气体 流量输出的驱动元件 用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒 。 。 压力控制 应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有较大影响 试验分析得到压 ， 。 ， ， 电陶瓷阀偏振电压变化过程中 气体输出流量的迟滞曲线 当压电陶瓷阀环境温度升高时 该迟滞特性会减弱 气 体输出流量随偏振电压变化速率变大。 : ; ; ; 关键词 压电陶瓷 迟滞特性 温度特性 有效工作电压 中图分类号:TH138． 52 文献标志码:A 文章编号:1006 － 7086 (2012)04 － 0228 － 04 DOI :10 ． 3969 /j ． issn． 1006 － 7086． 2012 ． 04 ． 009 CHARACTERISTIC OF PIEZOELECTRIC CERAMIC VALVE IN THE APPLICATION OF GAS FLOW CONTROL LIU Hong-jin1 ，CHI Hua-jing2 ，GUO Shuai2 ，CHEN Ge2 ，ZHANG Qi-chu2 (1． Shandong Winpin Energy-saving Glass Co． Ltd ，Dezhou 253000 ，China ; 2． Research and Development Center for Coatings ，Himin Solar Co． Ltd ，Dezhou 253000 ，China) Abstract :PEV-1 type piezoelectric ceramic valve is used as the output drive element of Ar in the system of vacuum magne- tron spu