大宗硅烷供气系统设计研究.pdfVIP

大宗硅烷供气系统设计 李东升 C 108) I-海正帆超净技术有限公司，上海20l 摘要：介绍了硅烷的性质，国内外行业规范要求，以及其供气系统的工艺和本质安全设计的要点．同时对硅烷的日 常使用和应急反应提出了建议．确保系统的安全可靠运行． 关键词： 硅烷：供气系统s工艺设计：本质安全 of The BulkSilane Design SupplySystem LI Dong-sheng GenTechUHP 2011 (Shanghai Co．，Lid．，56ChunzhongRoad,Shanghai08，China) Ablrtract：Thisintroduces of localandinternationalindustrial some paper propertiessilane,rⅨluirementsby codes,and of andinlrinsic forsilanc also somerecommendationsOn points key larocess safetydesign supplysystam．Itprovides and to be as and handlingemergencylespollSCofsilanc．SOlllakC骶supplysystemOpallglXlsafelyreliably． Key Words：silanc；silpplysystem；processdesign；intrinsicsafety 硅烷是半导体行业重要的原料气体之一。大宗硅烷主要指采用大包装容器，如Y．钢瓶、集装格、长管 拖车等的硅烷。硅烷的大宗特气供应系统(BSGS)广泛应用于8”以上超大规模集成电路芯片生产、100MW 以上的太阳能电池片生产、以及5代以上液晶显示器生产等行业。这些行业投资规模巨大。采用先进的工 艺设备，用气需求大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出了最严格的要求。采用大宗硅烷供 气系统的优点主要是减少容器更换次数、提升操作安全性、降低污染可能性、降低原料采购单位成本以及 降低容器更换所产生质量波动等。 1硅烷的基本性质 硅烷是一种无色气体，比重1．2(空气=1)。硅烷属于自燃性气体，自燃温度为一50℃，燃烧热 源时，会产生爆燃，速度可达5ntis。当空气中硅烷浓度高于4．5％时，处于亚稳定状态，会发生延迟自燃： 浓度越高．延迟时间越短。这种延迟自燃会导致爆燃或爆轰。硅烷在空气中燃烧的化学反应方程式如下： SiH4+202+7．52N2hSi02(s)+2H20+7．52N2 硅烷在空气中燃烧的化学当量浓度为9．51％。每Ikg硅烷燃烧，会产生1．87蝇的二氧化硅。硅烷的首 要危害是它的自燃性，毒性为次要危害。硅烷的半数致死浓度(LCs0)Y【_J 9600ppm(白鼠，4小时吸入)。工作 场所限制浓度阈值为5ppm。 21 2规范现状 目前我国针对硅烷和其它电子特气的设计规范正在制定中。该规范发布前，基本借鉴现行同家标准《建 及标志GBl3690》、《常用化学危险品贮存通则GBl5603》、《火灾自动报警系统设计规范GB50】16》、《自动 喷水灭火系统设计规范GB50084》和《气瓶安全监察规程》等。