双频激光干涉仪在长度测量中的新应用高精度大尺寸测量研究.pdfVIP

Ⅳ． 日^． [摘要]幸支主要盘连7利用厦颇赦光干涉便的高精度测量特点，与我公目科造厂大型薄地链床的长 距高导轨相配告·解凌7毳公目生产中对大型革部件大尺寸不能测量或测量精度不高的技术难题，撵索出 T一种大尺寸高精度测量的捌量方法，运用该方法可以精确的测量出各种形状的大型I件长度尺寸，突破 7常规的通用量具不能测量或精度不高的测量方法．为我公司提高产s质量．争创名牌，生产高，精、尖 产品在测t技术方面提供7可靠的保证。 [关键词]激光测量大尺寸高精度 1．前言 大尺寸测量一直是计量铡试技术领域内研究的课题之一。在机械甜造行业通常使用的大尺寸柱潜量 仪，虽然应用时间较长．应用范围较广泛t但由于自身存在的一些弊端，在使用时易产生一定的测量误 差。如自置或存放不当引起的变形．温度变化导致的膨胀误差等。都不可避免的对测量精度建成一定影 响t甚至对于一些超长的尺寸，由于测量仪器测量范有限．不能够实现澍量。随着科学技术的发展．一些 现代化的检嗣仪器已在计t涮试锾域得到应用．如光督技术、激光技木等，它们的使用．克服了以往旧的 测量模式，使测量精度得到了一个质的飞跃。 双攘澈光干涉仪是现代化的长度尺寸校准设备t由于它应用光波干涉原理．罘用的是非接触式测量， 并且具有概亮的分辨串，在专用温度空气传感器、材料传感器、计算机、绘图仪、数字显示器的配合下能 够实现对超长尺寸、角度、平面度、直线度、垂直度等多项参数的自动化检测。它具有精度高，速度快、 测量范围大、受环境条件影响小、具有良好的抗干扰能力等优点，并可直接应用于生产现场进行检测。对 于提高产品质量、提高工作教宰和经济效益具有重大意义．怎样利用它的先进性，精确性，尽可能的挖掘 其功能使其得到更加充分的利用是摆在我们面前的一个重要课题。 双频散光干涉仪虽然能够完成高精度的长度测量，但是它在检测过程当中必须依靠一个高精度的测量 导轨来实现局一直线方向上的长度检测，它的这一局限性给生产过程中的幢涮带来了诸多的不利因索，特 别是我们重型机械制造业生产的零件尺寸太，形状各异，单台单件的情况较多。如果对这些大型工件进行 检测制造一幄这样的导轨．它不但占用的空问大，对导轨的直线度要求又高．显然这种做法是不现实的。 针对上述情况藐们埠^到生产一线经过多次考察，具体研究，仔细分析．克服了一些不利因素带来的困 难，利用我厂现有的落地幢床与双颡激光千雹}仪配合实现了对一些大工件长度尺寸的高精度检涮，收到了 较好的效果．使双频激光干涉仪在测量应用方面又拓展了一条新的途径。 现在就视们利用双频澉光干涉仪与幢床配台检测大工件长度尺寸的过程与各位老师及同行们进行探 讨。 j73 2．双频激光干涉仪 2．1测量原理 激光束是由安装在专用三角支架上的激光头发出的。当激光头发射出的激光束S射入干涉仪时，由干 涉仪将射入的激光束S分成两束Sl、S2，其中一束S1经干涉仪反射后，返回到激光接收器中，此束光为 测量时的参考光束。另一束S2经过干涉仪透射后，射到另一反射器上(该反射器安装在移动的机床上)。 经反射器反射后，再经过干涉仪返回激光接收器中。这一束光为测量光。当反射器相对于干涉仪静止的时 候，两束光没有产生相对的位移，即两束光没有产生光程变化未产生光程差。激光接收器及激光显示器均 保持在零状态。当反射器在被测量方向上相对干涉仪产生位移时，两束光S1、S2光程相对发生了变化， 产生了光程差，这样就产生了可以提供距离准确测量的相位变化，通过相位信号处理装置，在显示器上显 示出被测物移动的长度间距。如图(1)。 图l 2．2双频激光干涉仪工作状态与光路的调整 双频激光干涉仪通过两个固定螺钉和一个可调螺钉固定在专用三角架上，三角架摆放在落地镗床一侧 的地面上，调整三角架的高度，使其处在合适的测量高度位置上，并使激光头发出的光线大致与机床导轧 平行。三角架上的手柄、手轮、可调螺钉，是使激光头在水平方向作横向移动；垂直方向作上、下的升降 运动；垂直方向作上、下摆动f水平方向作水平摆动。将反射器瞄准靶吸附在镗床床身，使激光头发出的 激光束照射在反射器瞄准靶上的靶心，开动镗床使床身沿导轨往返运动，配合调整三角架上的手柄、手 轮、可调螺钉，当镗床床身沿导轨作往返运动过程中激光束与靶心始终重合没有偏移时，即可开始检测。 3．检测要求与参数 现以检测直径为6981毫米的端盖的外径尺寸为例说明测量方法与步骤。 3．1被测件精度要求