射频螺线管微电感的设计和仿真研究.pdfVIP

下载本文档

21
0
约1.51万字
约 3页
2018-01-13 发布于广东
举报
版权申诉

射频螺线管微电感的设计和仿真研究.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

V01．19 第19卷第5期传感技术学报 No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL 0ct．2006 The andSimulationoftheRFSolenoidMicroinductor Design FANG Xiao—lin，WANGXi—ning，ZHOU Dong—ming+，ZHA0 Yong ofNano／MicroFabrication andMicrofabricationofMinistry ／NationalKeyLaboratory TechnologyKeyLaboratoryforninFilmof、＼EducationResearchInstituteMicro／NanoScienceand Jiao 200030，China／ of Technology，ShanghaiTongUniversity，Shanghai orderto MEMSsolenoid consideredthe Abstract：Inget microinductors，we high—perfcIrmance onthe oftheinductor，andsimulatedaninductor parameters’effectsperformance usingHigh simulationtothatthe StructureSimulator(HFSS)．Theresultofthe iSsimilar of fahricated have overwide of measurementresultshowsthattheinductor Q-factor high rangeoperatingfrequency， usedinthefield communication． whichcanbe ofWireless MEMS words：solenoid factor；RF Key inductor；HFSS；quality EEACC：2575；2140 射频螺线管微电感的设计和仿真方东明。，赵小林，王西宁，周勇 (上海交通大学微纳科学技术研究院，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030) 摘电感进行仿真，仿真结果与实验研制的测量结果基本相符．测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值，可以应用在无线通讯领域．关键词：螺线管电感；HFSS；品质因素；射频微机电系统中圈分类号：TM55 文献标识码：A 现今CMOSIC技术还不能很好地提供高频电的螺线管微电感由于采用了立体结构，寄生电容和寄路所必需的高性能射频(RF)元件，然而，片上集成生电阻引起的寄生损耗降低，提高了电感的Q值． RF MEMS技术可以增强高速IC芯片的射频功能，为了节