三点法圆度测量精度分析-光学精密工程.PDF

第6卷　第4期 光学　精密工程 . 6, . 4 V o l N o 1998年8月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G A u gu st, 1998 三点法圆度测量精度分析 张宇华 (北京理工大学光电工程系　　北京 100081) 王晓林 ( 山东工业大学机械工程学院　　济南 25006 1) 　　摘要　详细分析了三点法中测头的读数及角位置误差对圆度测量精度的影响。从 三点法的原理出发, 根据误差理论, 推导了测头及位置误差在圆度测量过程中的误差传 播关系式。结果表明: 三点法圆度测量结果失真的根本原因在于三个测头间的夹角选择 不当, 使测头读数误差在某些谐波上被大大放大。为提高三点法圆度测量精度, 必须恰 当选择三个测头间的夹角, 以使读数误差对圆度各次谐波测量结果的影响都较小。 关键词　　三点法　圆度　测量　误差 为提高三点法测量圆度及轴系运动误差的精度, 前人倾注了很大精力, 但他们研究的注意 力大都限于仅从数学上考虑了如何避免三点法的谐波加权函数 (k ) = 1 + a e- j k 2 + a e- j k 3 2 3 的谐波抑制问题[ 1- 3 ] , 而忽视了测头的读数及定位误差对测量精度的影响。事实上, 仅有完善 的理论算法而不考虑实际测量中存在的测量误差影响, 是无法从根本上保证获得高精度测量 [4 ] 结果的。虽有个别文献 注意到上述问题, 但未能对测头读数及定位误差对圆周各点测量精度 的影响作出透彻分析。针对上述问题, 本文从三点法的原理出发, 根据误差理论, 详细分析测头 读数及定位误差对圆度各次谐波及圆周各点测量结果的影响, 从而为进一步提高三点法测量 精度奠定基础。 1　三点法测量原理 　　如图1, 工件圆周上布置3个测头 ( i = 1～ 3) , 各测头与y 轴夹角分别为 ( = 0) , 工件 P i i 1 ( ) ( ) ( ) 圆度为 r , 轴系径向运动误差的x , y 向分量为x 、y , 各测头的输出为: n n n 收稿 日期: 1998- 02- 22 修稿 日期: 1998- 04- 08 128 光学　精密工程 6卷 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) S = R - r - - y co s + x sin 1 i n i i