坩埚回转部保养-上海合里电子科技有限公司.PPTVIP

坩埚回转结构维修顺序书 敬请阅读 本顺序书是为SHINCRON公司人员教育用而作成的。 客户使用本顺序书进行大修、修理时引起事故、故障SHINCRON概不负责。 同意以上条件者请参考以下的顺序书进行大修、修理。 目 录　 １．回转轴组装图 ２．坩埚回转结构整体图 ３．分解方法 ４．组装方法 ５．往真空室内的安装 １．回转轴组装图 ２．坩埚回转结构整体图 3.分解方法① 先除去坩埚内的水。 　 关闭冷却水管部的坩埚进水口、出水口的手动阀，把两边的皮管都拆下并把进水皮管放入准备好的水桶或塑料袋等内，用气枪从出水口皮管吹入空气。 ①　真空室内的分解 　１）拆下坩埚周边的防镀板。 　２）取下坩埚挡盖。 　３）拆下坩埚轴承护盖。（Ｍ３×８、　２处） 　４）拆下坩埚和回转轴连接螺丝。（Ｍ８×２５、４５　计６处） 　５）拆下坩埚。 　　因为非常沉重，请注意。 　　暂放置到维护场所，注意安全不要碰坏。 　　另外，在拆下坩埚后，可看到回转轴内圈和中间冷却管道之间有 一 个分水板。 　　这个分水板对于坩埚的冷却效果起着重大作用，注意不要丢失。 　　至此，真空室内的分解工作结束。 3.分解方法② ②　大气侧的分解 　１）把马达与电位器的电线接头拆下。 　２）把通往坩埚内的冷却水管拔下。（不要忘记做标记） 　３）电位器是把固定电位器的支架一起拆下。（Ｍ８螺丝、２只） 　４）取下防转制动支架。（Ｍ６螺丝、２只） 　５）拆下马达。（把马达固定支架一起拆下　Ｍ８螺丝、２只） 　　注：在拆下马达前一定要确认齿轮的间隙，并做上重合标记以便安装 作为参考。 　６）拆下坩埚轴（Ｍ１０螺丝、４根） 　 取下坩埚轴的４根螺丝后整套结构就可以取下，因为此结构比较重，所以在取出时，要小心不要把电位器测板等弯折。 至此坩埚回转结构分解完了。 接下来是结构内部的分解、洗净、密封圈、轴承交换、组装。 　　　 3.分解方法③ ③坩埚的密封圈交换 １）把坩埚和坩埚法兰作上标记。（用金属尖锐物划上位置线） ２）取下坩埚和坩埚法兰的连接螺丝（Ｍ６内角螺丝）。 　　注）因坩埚材料是铜，所以螺孔内装有不锈钢螺纹衬套，拆卸螺丝 时，要把所有的螺丝一点一点平均的松下，因为担心螺丝会卡 住。 ３）坩埚、坩埚法兰的洗净 　　特别是密封圈沟槽、表面要用尼龙刷磨平，要注意有无划伤等， 　　最后用溶剂擦拭干净。 ４）密封圈交换后，按照所记标记把坩埚和坩埚法兰装上。 ５）均匀的固定拧紧螺丝。 　　绝对不要一边先拧紧，而要按对角平均拧紧。 ＊喷砂时，要把坩埚和坩埚法兰的密封面遮盖起来后喷砂。 至此本项工作完了，把部件暂放一边。　 2）拆下电位器测板台的固定圈。（内角螺丝２处） 　　　＊ 注意事项：　拆下来前确认尺寸。 5）拆下ＭＳＲ固定螺母。 　 （松动Ｍ４的内角螺丝就会把固定解除。 　　另外，只要松动Ｍ４内角螺丝就可以用手转动并取下。取出ＭＳＲ固定螺母会有轴承垫片，请注意。） 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 6）把坩埚轴和密封箱拆离。 7）取下装在坩埚轴上的轴承、垫圈。 　　至此坩埚轴分解完了。 　　最后，用溶剂把坩埚、密封箱、分配铜管、轴承垫片、冷却水分水板洗净，并确认密封面。 　＊注意事项：如果有划伤出现，则要加工到划伤消失为止。 4.组装方法 基本上是按分解的相反顺序。但请严守以下几个注意点。 　注意点 　⒈用溶剂洗净轴承６００７Ｚ、推力球轴承５１１０７。 　　（清洁到机械油的味道消失为止） 　⒉.轴承洗净后，涂上高真空润滑油。（如果不涂则会缩短它的寿命。） 因为轴承６００６ＺＺ是在大气侧，所以没有必要涂上润滑油。 组装方法 ① 把轴承６００７Ｚ装入坩埚轴。 ②　放上轴承垫片。（注意方向：把段差向对６００７Ｚ一侧。） ③　放入推力球轴承。 　　（注意内径大小：内径小侧→６００７Ｚ侧、内径大侧→Ｏ型圈侧） ④　放入Ｏ型圈（Ｐ－２９）。 　　（放入时注意垫圈槽里应装入高真空润滑油。） ⑤　到④结束后，把坩埚轴装入密封箱。 ⑥　把６００６ＺＺ放入。 ⑦　把轴承垫片装上。 ⑧　装上ＭＳＲ固定螺母。 　　 组装方法是用手凝紧ＭＳＲ固定螺母，固定4处Ｍ４螺丝。 　　 （因ＭＳＲ固定螺母与坩埚轴的材质是ＳＵＳ－３０４，很容易卡住，所以 在安装前，在坩埚轴的螺纹部与Ｍ４螺丝上涂上高真空润滑油。） ⑨ 安装平齿轮。 　　 平均的拧紧制动环。 　　 （把制动环的结合面部分涂上高真空润滑油〈机械油亦可〉。） ⑩　把电位器测板装入坩埚轴。 　　（先不要拧紧固定螺丝。因为要调整坩埚位置。） ?　把电位器固定台装入坩埚轴。 　　（按照分解时记录下的尺寸来固定。用２处固定螺丝。） ?