mems微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究.pdfVIP

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2018-01-15 发布于天津
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第卷第期年月微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究李亚茹袁晓敏吴玉明杜晓松电子科技大学光电信息学院成都摘要采用微机电系统工艺完成了三维格栅分流型富集器的微结构加工然后分别填充碳纳米管和作为吸附材料以进行吸附性能的对比测试结果表明碳纳米管的吸附性能比材料好对于的二硫化碳和甲硫醚填充碳纳米管的富集器富集后富集率分别为和关键词电气工程其他学科富集率微机电系统有机硫气体富集器中图分类号文献标识码文章编号引言随着工业化进程的加快环境污染现象屡见不鲜因此对有毒有害气体的检测至关重要但是有毒有害气体种

第10卷第20 期 Vol.10 No.20 2017 年 10 月 October 2017 MEMS 微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究李亚茹，袁晓敏，吴玉明，杜晓松*