微细加工技术02光子电子离子等离子体.pdfVIP

第二章 光子、电子、离子和等离子体 光子、电子和离子束和等离子体是现代微细与纳米加工最重要的手段。在美 国召开的、最重要的关于微细与纳米加工技术的国际会议: International Conference on Electron, Ion Photon Beams nano fabrications 。 2.1 光波与光子 （Photon ） 现代物理概念, 光具有二象性：微粒与波。 微粒：光子。基本特点是离散即量子化效应。光的微粒性典型体现在光电效 应、康普顿效应和光子与正负电子转化现象上；黑体辐射要用微粒概念才能解释。 波：电磁波，矢量波场。基本特点包括其弥散性存在形态、其时间和空间的 周期性。波动性的典型体现是干涉和衍射现象。 微粒特征与波动特征之间的联系： 光子能量 E hν hω 光子动量 p hk h / λ 光子能量越高，光波波长越短，微粒及量子性越明显；反之依然，光子能量 越低，光波波长越长，波动性越明显。 电磁波谱：频率、波长、光量子能量、温度。光量子能量与频率、波长，以 及温度与黑体热辐射最可几波长关系： E hν, λν c, λ T 2.896 ×10−3 m ⋅K m 无线电波：几百米波 （中波），几十米波，几米波 （短波） 微波：分米波，厘米波，毫米波 T 赫兹波：亚毫米波；某些驰豫过程 红外线：微米波；分子作用，振动能级，转动能级 （可见）光：亚微米波；能量 eV ；最外层（价）电子作用 紫外线：亚微米－纳米波；能量 几十－几百 eV X 射线：纳米－亚纳米－亚埃波；能量0.几-几十 keV ；内层电子作用 Γ射线：能量MeV 及以上；原子核及基本粒子过程 2.2 光源及其相干性 光源有多种：例：白炽灯、卤钨灯－热辐射光源；钠灯、水银灯、Xe 灯－ 气体放电光源；日光灯－气体放电＋荧光光源；激光器－受激辐射光源。 特征：亮度、波长（颜色），相干性。 微细加工技术中光源的用途：曝光光刻系统光源；激光诱导化学汽相淀积和 外延；激光蚀刻；激光退火和热处理；激光机械加工——钻孔、切割和焊接。 以下主要针对高分辨的光刻曝光技术光源。 2.2.1 弧光放电灯 弧光放电是一种气体放电形式。曝光用可见光源，主要为高压水银灯，功率 500～1000W。这是一种气体弧光放电光源，是现代技术中最亮的人工非相干光 源。高压气体放电形成相当高的温度，水银气化放电，压强可达 40 个大气压， 弧光放电等离子体的典型温度达 40000K ，其连续谱辐射波长范围200～600nm， 光谱由热辐射本底连续谱上的很多特征谱线构成。其所谓 g-line （436nm ）和 i-line （365nm ）的单色特征谱线较强而常用。i 线已是紫外射线，经滤光镜滤掉连续 谱后常用于高分辨的分布重复曝光和掩模制备系统。与常用的光致抗蚀胶的吸收 （敏感）配合的主要波长段是300～450nm 。 2.2.2 激光光源 使用激光代替放电灯主要因素是激光的单色性、高亮度、好的准直性（非常 小的发散角）和相干性。在与光谱和光化学有关的场合，单色性和狭窄的波长范 围显得更为重要。典型使用的激光器有氩离子激光器、钕玻璃和钕石榴石激光器 和二氧化碳激光器。在激光退火中常用使用 Q 开关的钕玻璃和钕石榴石激光器， 2 或脉冲能量密度为 0.5～10J/cm 的红宝石激光器。 2 光源 亮度(W/cm ·sr) 谱亮度 2 (W/cm ·sr·Hz)