磁栅式传感器 论文.doc

第一章 绪 论 在机械领域中，，目前常用的测量设备是栅式测量系统。从上个世纪50年代到80年代栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅。这种测量系统都是将一个栅距周期内的绝对式测量和周期外的增量式测量结合了起来，测量单位不是像激光一样的是光波波长，而是通用的米制（或英制）标尺。它们有各自的优势。目前直线光栅测量系统在栅式测量系统中的占有率已超过80%。由于现在常用的直线光栅测量系统存在测量准确度（精度）的问题、信号的处理及栅距的细分、光栅的参考标记和绝对标等问题，在本领域中就需要一种新的测量技术和设备，能够克服直线光栅测量系统存在的问题，磁栅带型长磁栅是目前国内生产的性能价格比较优的大量程线位移传感器。它能做得很长，使用长度可达到30m，甚至更长；而且不论是多长，它总是完整的一根。用户拿到手的带型长磁栅尺是一卷录制好的磁信号的金属带材，体积小，携带方便。安装使用时，用户只需把它整根地张紧在铁框架上就能使用，没有令人麻烦、技术含量较高接长问题，极为方便。它的精度指标是：20um/3m（任意3m的区间精度为20um）,精度裕量很大，而且各区间的线形误差一致性都控制得很好。带型磁栅尺在录刻时它的精度数据是通过与激光干涉仪（每隔一个小的间隔）动态对比打印而得，精度数据可靠。由于长磁栅的带材和框架都是金属的，它们的线胀系数与工件基本一致，精度稳定性很好。 对使用环境的要求很低。不怕油污（即使浸在机油中仍能正常工作），不怕铁屑，不怕粉尘。使用寿命长，调整方便，它在设计时已保证了磁带与磁头在工作区域内是脱开的（脱开约为0.05mm）,因此从原理上讲它的使用寿命是无限的。～～磁栅式传感器　 　　磁栅式传感器主要由磁栅和磁头组成。磁栅上录有等间距的磁信号，它是利用磁带录音的原理将等节距的周期变化的电信号(正弦波或矩形波)用录磁的方法记录在磁性尺子或圆盘上而制成的。装有磁栅传感器的仪器或装置工作时，磁头相对于磁栅有一定的相对位置，在这个过程中，磁头把磁栅上的磁信号读出来，这样就把被测位置或位移转换成电信号。 磁栅 磁栅的结构 磁栅结构如图所示，磁栅基体1是用不导磁材料做成的，上面镀一层均匀的磁性薄膜2，经过录磁，其磁信号排列情况如图中所示，要求录磁信号幅度均匀，幅度变化应小于10％，节距均匀。目前长磁栅常用的磁信号节距一般为0.05mm和0.02mm两种，圆磁栅的角节距一般为几分至几十分。 图2-1 磁栅的结构 1-磁栅基体 2-磁性薄膜 磁栅基体1要有良好的加工性能和电镀性能，其线膨胀系数应与被测件接近, 基体也常用钢制作，然后用镀铜的方法解决隔磁问题，铜层厚度约为0.15～0.20mm。长磁栅基体工作面平直度误差应不大于0.005～0.01mm/m，圆磁栅工作面不圆度应不大于0.005～0.01mm。粗糙度Ra在0.16μm以下。 磁性薄膜2的剩余磁感应强度Br要大、矫顽力Hc要高、性能稳定、电镀均匀。目前常用的磁性薄膜材料为镍钴磷合金，其Br=0.7～0.8THc=6.37×l04A·m-1。薄膜厚度在0.10～0.20mm左右。 磁栅的类型 磁栅分为长磁栅和圆磁栅两大类，前者用于测量直线位移，后者用于测量角位移。长磁栅又可分为尺型、带型和同轴型三种。一般常用尺型磁栅，其外形如图a所示。它是在一根不导磁材料（例如铜或玻璃）制成的尺基上镀一层Ni-Co-P或Ni-Co磁性薄膜，然后录制而成。磁头一般用片簧机构固定在磁头架上，工作中磁头架沿磁尺的基准面运动，磁头不与磁尺接触。尺型磁栅主要用于精度要求较高的场合。 当量程较大或安装面不好安排时，可采用带型磁栅，如图b所示。带状磁尺1是在一条宽约20mm、厚约0.2mm的铜带上镀一层磁性薄膜，然后录制而成的。图中2为软垫（常用泡沫塑料），3为防尘与屏蔽罩，4为上压板，5为拉紧块。带状磁尺的录磁与工作均在张紧状态下进行。磁头在接触状态下读取信号，能在振动环境下正常工作。为了防止磁尺磨损，可在磁尺表面涂上一层几微米厚的保护层，调节张紧预变形量可在一定程度上补偿带状尺的累积误差与温度误差。同轴型磁栅是在Φ2mm的青铜棒上电镀一层磁性薄膜，然后录制而成。磁头套在磁棒上工作，如图c所示，两者之间具有微小的间隙。由于磁棒的工作区被磁头围住，对周围的磁场起了很好的屏蔽作用，增强了它的抗干扰能力。这种磁栅传感器结构特别小巧，可用于结构紧凑的场合或小型测量装置中。圆磁栅传感器如图所示。磁盘1的圆柱面上的磁信号由磁头3读取，磁头与磁盘之间应有微小的间隙以避免磨损。罩2起屏蔽作用。磁头 　　磁栅上的磁信号由读取磁头读出，按读取信号方式的不同，磁头可分为动态磁头与静态磁头两种。 动态磁头 动态磁头为非调制式磁头，又称速度响应式磁头，它只有一组线圈。图a所示为动态磁头的实例，其铁心由每片厚度为0.2mm