声表面波器件原理及其应用1.pptVIP

声表面波器件原理及应用简介 声表面波器件原理 压电效应 受到压力产生电荷 逆压电效应 加入电荷（电压）产生形变 声表面波的产业的开端 声表面波的有效激发 声表器件的基本结构 常用压电晶体的参数－声速 常用压电晶体的参数－机电耦合系数 常用压电晶体的参数－温度系数 锗酸铋：声速慢，1500米/秒，适合做长时延的器件。缺点：硬度太小，易碎，易划伤。 四硼酸锂：声速高，6000米/秒，适合做高频器件。缺点：水溶性晶体，工艺难度大。 如何计算指条线宽？ 所用的晶体材料→查得声速 判断换能器类型→单指还是分裂指 单指结构 波长＝声速/频率 分裂指结构 条带耦合器结构 膜厚影响频率的原因？ 质量负载效应：金属膜的存在使声速降低，导致频率降低。 增加膜厚→频率降低 减薄膜厚→频率升高 声表面波器件简介 基础：电子学、声学 应用领域：电子学诸领域 制造技术：半导体平面工艺 功能：信号的延时、滤波、脉冲展宽/压缩、振荡/稳频、编码/相关、卷积等 频率范围：10MHz－2~5GHz 固定延迟线（组） 三次行程 输入换能器和输出换能器对信号分别反射一次 固定延迟线（组）应用 DPSK扩频信号解扩，与抽头延迟线配合使用 雷达系统的模拟、标定、维修。30微妙的延时，相当于雷达探测4.5公里远处的目标的延时。 滤波器 滤波器应用 功能：滤波，让需要的信号通过，滤除不需要的信号。 应用：电视机，无绳电话，手机（每只手机中有声表滤波器3-5只） 滤波器简单原理－非加权结构 滤波器简单原理－加权结构 通信用低插损滤波器简介 单相单向换能器（SPUDT） 谐振结构 在换能器两旁放置反射栅阵，形成谐振腔结构。 抽头延迟线（固定、可编程） 叉指的编码 信号的相关 抽头延迟线相关指标 中心频率 码速率 伪码长度：M序列，m序列，BARK序列 信号调制类型：BPSK，DPSK，MSK，QPSK 抽头延迟线应用 扩频信号的中频解扩 抗干扰、保密通信 色散延迟线 调频信号的压缩 沟槽式色散线（RAC器件） 色散线的相关技术指标 中心频率 带宽 色散时延 时间带宽积（时带积） 压缩比（35dB） 色散线的应用 雷达，解决距离与分辨率的矛盾，既要看的远，又要看的清。 高速跳频台的侦察与干扰，每秒500跳。实时，高频率分辨率（20KHz） 脉冲压缩前的雷达图象 脉冲压缩后的雷达图象 声表压控振荡器 声表压控振荡器优点 和晶体振荡器相比，有较宽的压控范围，可达1－3% 和LC振荡器相比，有良好的相位噪声。 基频工作频率高 谢 谢 大 家 色散 频散 色散结构换能器 线性调频信号 沟槽阵约1万条，槽深几百至几千埃。 结构： SAW DL 移相器 输出 放大器 振荡条件：幅度，相位 * * 北京中讯四方科技股份有限公司 发现：1885年瑞利，也称瑞利波 表面波：在任何材料或切向上普遍存在 应用：地震、勘探、探伤 ＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋ －－－－－－－－－－－－ F V 1965年White和Voltmer 发明叉指换能器 60年代半导体平面 工艺的成熟 声表面波学科 理论→技术→产业 压电晶体基片 输入叉指换能器 输出叉指换能器 吸声材料 吸声材料 表面波传播区域 晶体抛光面 汇流条 屏蔽条 叉指换能器 晶体背面打毛或刻沟槽 不常用的压电晶体材料 指宽＝波长/4 波长 波长 波长＝声速/频率 指宽＝波长/8 波长＝声速/频率 条带耦合器指宽≈分裂指宽×1.5 ≈波长×3/16 条带耦合器 L T=L/V L 三次行程延时T=3×L/V 插损 带外抑制 0dB 带内波动 Δf-3dB Δf-40dB f0 矩形系数＝ Δf-40dB/ Δf-3dB 叉指结构 时域响应 频域响应 叉指结构 双向损耗：6dB 关键：降低或消除双向损耗 措施：单向结构或谐振结构 在换能器内部加入反射栅阵，使反射声波与辐射声波在需要方向上同相相加，在另一个方向上反相相消，使声波只向一个方向辐射。 反向 正向 数字调制方式：BPSK，DPSK，MSK，QPSK BPSK：二相频移键控 1 0 1 1 0 1 0 1 1 0 1 0 1 1 0