静电的产生与预防精选.pptx

1 ESD产生与预防 2 ESD是什么 ESD是代表英文Electro Static Discharge，即“静电放电”的意思。 ESD是以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热（火花）效应（如静电引起的着火与爆炸）及和电磁效应（如电磁干扰）等的学科。 近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，对静电放电的电磁场效应如电磁干扰（EMI）及电磁兼容性（EMC）问题越来越重视。 3 人体与静电（一） 环境湿度 人体活动 RH 10-20% RH 65-90% 在地毯上走动 35,000V 15,000V 在已烯树脂地板上行走 12,000V 250V 在工作台上操作 6,000V 100V 包说明书的已烯树脂封皮 7,000V 600V 从工作台上拿普通塑料袋 20,000V 1,200V 从垫有聚氨基甲酸泡沫的工作椅上站起 18,000V 1,500V 静电电位 4 质地不同的工作服和内衣摩擦时人体带电电压（kV） 工作服 内 衣 棉纱 毛 丙烯 聚酯 尼龙 维棉 纯棉 1.2 0.9 11.7 14.7 1.5 1.8 维尼纶55%、棉45% 0.6 4.5 12.3 12.3 4.8 0.3 聚酯65%、人造丝35% 4.2 8.4 19.2 17.1 4.8 1.2 聚酯65%、棉45% 14.1 15.3 12.3 7.5 14.7 13.8 5 人体静电放电的电流波形 从图中可以看出，静电放电过程，其峰值电流可达数十 安培，实验室利用ESD模拟器和电流靶可以观测到数百安培 的静电放电电流，其电磁辐射场可在附近导线上感应出数百 伏乃至上千伏的电压。 人体的电容和电阻 6 人体与静电（二） 电击感觉是由于人体静电瞬间释放造成的 虽然人体感觉不到1,000伏以下的静电，仍可能成为设备故障的原因 人体带电量 电击程度 1,000V 完全没有感觉 3,000V 感到刺痛 5,000V 手掌甚至手腕感到发麻 7,000V 手掌感到强烈疼痛、麻痹 10,000V 整个手都觉得痛，并且感到触电 12,000V 感到整个手受到强烈冲击 7 静电放电 通常，积累在物体上的电荷有两种释放方式： 泄漏； 火花。 由于火花放电会引起燃烧爆炸之类灾害事故的发生，所以泄漏是物体放电的首选方式。 由于湿度的关系，物体携带的电荷可以通过空气泄漏。湿度愈高，物体上携带的电荷泄漏得愈快。 使用离子发生器向空气中释放与物体携带电荷极性相反的电荷，可以与物体携带的电荷相互抵消。空气中的离子将被吸附到物体上，与物体上的电荷中和，空气中产生的离子愈多，电荷的中和速度就愈快。 8 电子器件的静电破坏电压 通常，人体不会感受到1000KV以下的电压所产生的放电。 由于大多数电子器件对数百伏电压产生的放电都会非常敏感，所以元器件的损坏可能来自人们所不能感受到的或看得到的放电。 器件类型 静电破坏电压 器件类型 静电破坏电压 VMoS 30～1800 OP-AMP 190～2500 MoSFET 100～200 JEFT 140～1000 GaAsFET 100～300 SCL 680～1000 PROM 100 STTL 300～2500 CMoS 250～2000 DTL 380～7000 HMOS 50～500 肖特基二极管 300～3000 E／DMOS 200～1000 双极型晶体管 380～7000 ECL 300～2500 石英压电晶体 ＜10000 9 静电对电子产品损害形式 静电的基本物理特性为：吸引或排斥，与大地有电位差而产生放电电流。这三种特性能对电子元件影响如下： 静电吸附灰尘，降低元件绝缘电阻(缩短寿命)。 静电放电破坏，使元件受损不能工作(完全破坏)。 静电放电电场或电流产生的热使元件受伤(潜在损伤) 静电放电产生的电磁场幅度很大(达几百伏/米)、谱极宽(从几十兆到几千兆)，对电子产器造成干扰甚至损坏(电磁干扰) 10 静电的危害 静电是时时刻刻到处存在的，随着集成电路的密度越来越大，一方面其二氧化硅膜的厚度越来越薄（微米_纳米），其承受的静电电压越来越低。 另一方面，产生和积累静电的材料如塑料，橡胶等大量使用，使得静电越来越普遍存在，仅美国电子工业每年因静电造成的损失达几百亿美元，因此静电破坏已成为电子工业的隐形杀手。是电子工业普遍存在的＂硬病毒＂，在某个时刻内外因条件具备时就要发作。 11 静电破坏的特点 隐蔽性 人体不能直接感知静电除非发生静电放电,但是发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉,这是因为人体感知的静电放电电压为2~3 KV,所以静电具有隐蔽性。 潜在性 有