太阳能电池片扩散工艺.pptVIP

送片 用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上，保证平稳，缓缓推入扩散炉。 * 回温 打开O2，等待石英管升温至设定温度。 * 扩散 打开小N2，以设定流量通小N2（携源）进行扩散 * 关源，退舟 扩散结束后，关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下轮扩散。 如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽量缩短臂桨暴露在空气中的时间。 * 卸片 等待硅片冷却后，将硅片从石英舟上卸下并放置在硅片盒中，放入传递窗。 * 检验原理ⅱ V R=F×V/I 四探针可以排成不同的几何形状，最常见的是排成一条直线。 探针间距远大于结深时，几何修正因子为4.5325。 I 四探针法原理 关于四探针 用途：测量半导体材料的电阻率。 原理：使用四根处于同一水平面上的探针压在所测材料上，1,4探针通电流。2,3探针间产生一定的电压。 扩散方块电阻控制在47-52Ω/□之间。同一炉扩散方块电阻不均匀度≤20%，同一硅片扩散方块电阻不均匀度≤10%。 表面无明显因偏磷酸滴落或其他原因引起的污染。 工艺参数 TCA清洗 预饱和 温度（℃） 时间（min） 小N2(L/min) O2(L/min) 参数设置 1050 2