光纤旋涡流量传感器.ppt

任务九: 新型传感器的应用 2、听觉传感器 语音识别实质上是通过模式识别技术识别未知的输入声音。 实现这种技术的大规模集成电路的声音识别电路早已问世，其典型代表：TMS320C25FNL。 9.3.3 压阻式微型传感器 原理： 利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响应快。 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 9.4 集成温度传感器 集成温度传感器（温度IC）将温度敏感元件和放大、运算和补偿等电路采用微电子技术和集成工艺集成在一片芯片上，从而构成集测量、放大、电源供电回路于一体的高性能的测温传感器。 集成温度传感器的测温原理 PN结的 温度特性 9.4.1 集成温度传感器的类型 集成温度传感器可分为：模拟型集成温度传感器和数字型集成温度传感器。模拟型的输出信号形式有电压型和电流型两种。 电压型的灵敏度多为10mV/℃（以摄氏温度0℃作为电压的零点），电流型的灵敏度多为1μA/K（以绝对温度0K作为电流的零点）；数字型又可以分为开关输出型、并行输出型、串行输出型等几种不同的形式。 1.AD590传感器性能特点 AD590封装示意图 空脚（接地） 2. AD590的应用 电流-电压转换电路（10mV/K） 输出电压Uo与热力学温度成（1mV/K） 9.4.2 智能压力传感器 智能压力传感器也称为数字式压力测量仪,是把敏感元件和信号处理电路集成在一起,并把被测压力以数字的形式输出或显示的仪器. 下图是典型智能压力传感器的结构框图. 光纤传感器的工作原理及组成 光纤传感器原理实际上是研究光在调制区内，外界信号（温度、压力、应变、位移、 振动、电场等）与光的相互作用，即研究光被外界参数的调制原理。 外界信号可能引起光的强度、 波长、频率、相位、偏振态等光学性质的变化，从而形成不同的调制。  光纤传感器一般分为两大类：一类是利用光纤本身的某种敏感特性或功能制成的传感器，称为功能型（Functional Fiber， 缩写为FF）传感器，又称为传感型传感器；另一类是光纤仅仅起传输光的作用，它在光纤端面或中间加装其它敏感元件感受被测量的变化，这类传感器称为非功能型（Non Functional Fiber， 缩写为NFF）传感器，又称为传光型传感器。 在用途上，非功能型传感器要多于功能型传感器，而且非功能型传感器的制作和应用也比较容易，所以目前非功能型传感器品种较多。功能型传感器的构思和原理往往比较巧妙，可解决一些特别辣手的问题。但无论哪一种传感器，最终都利用光探测器将光纤的输出变为电信号。 光纤传感器由光源、敏感元件（光纤或非光纤的）、光探测器、信号处理系统以及光纤等组成，如图3所示。由光源发出的光通过源光纤引到敏感元件，被测参数作用于敏感元件，在光的调制区内，使光的某一性质受到被测量的调制，调制后的光信号经接收光纤耦合到光探测器，将光信号转换为电信号， 最后经信号处理得到所需要的被测量。 图3 光纤传感器组成示意图 （a） 传感型； （b） 传光型 9.2.4. 光纤传感器的应用举例 1. 光纤加速度传感器 光纤加速度传感器的组成结构如图4所示。它是一种简谐振子的结构形式。激光束通过分光板后分为两束光，透射光作为参考光束， 反射光作为测量光束。当传感器感受加速度时，由于质量块M对光纤的作用，从而使光纤被拉伸，引起光程差的改变。 相位改变的激光束由单模光纤射出后与参考光束会合产生干涉效应。 激光干涉仪干涉条纹的移动可由光电接收装置转换为电信号， 经过信号处理电路处理后便可以正确地测出加速度值。 图4 光纤加速度传感器结构简图 2. 光纤温度传感器 光纤温度传感器是目前仅次于加速度、压力传感器而被广泛使用的光纤传感器。根据工作原理它可分为相位调制型、光强调制型和偏振光型等。这里仅介绍一种光强调制型的半导体光吸收型光纤传感器，图5为这种传感器的结构原理图。 传感器是由半导体光吸收器、光纤、光源和包括光探测器在内的信号处理系统等组成的。光纤是用来传输信号，半导体光吸收器是光敏感元件，在一定的波长范围内，它对光的吸收随温度T变化而变化。 图6为半导体的光透过率