非晶硅薄膜太阳能电池的紫外激光刻蚀工艺.pdfVIP

第24卷第11期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．24，No．11 2012年11月 HIGHPOWERLASERANDPARTICI。EBEAMS Nov．。2012 文章编号： 100l一4322(2012)1l一275卜06 非晶硅薄膜太阳能电池的紫外激光刻蚀工艺。 张 超h2， 张庆茂1， 郭 亮1’3， 吕启涛4， 吴煜文1 (1．华南师范大学广东省馓纳光子功能材料与器件重点实验室．广州510006；2．广东T业大学物理与光电工程，广州510006 3．华南理工大学机械与汽车工程学院，广州51064lI 4．深圳市大族激光科技股份有限公司，广东深卸I518000) 摘要： 为提高电池的光电转换效率，通过改善激光刻蚀工艺，采用355nm紫外纳秒激光分别进行了 电阻，采用电子扫描显微镜(SEM)和三维激光扫描仪测量刻槽的微结构和三维成像．激光挖曼散射光谱检测 非晶硅薄膜刻蚀边缘的晶化。实验结果表明，当刻蚀速度600mm／s，重复频率40kHz，功率1．74W的紫外激 光刻蚀zn0：AI薄膜时，刻槽的隔离效果最佳，达20MQ；紫外激光刻蚀能够有效地减小激光热效应引起的热 影响和刻槽边缘的晶化范围，提高非晶硅薄膜电池的性能。 关键词：激光刻蚀；非晶硅薄腻r热效应；隔离电阻； 晶化 中图分类号： V261：睁 文献标志码： A doi：10．3788／HPl。P275l 激光刻蚀已经成为集成型太阳能薄膜电池的重要技术，对制造大面积的集成型d—Si太阳能薄膜电池有很 大吸引力，能有效地简化电池的制作工序。相对于掩膜法刻蚀，激光刻蚀可以降低成本，增大整个电池的有效 面积。因此，激光刻蚀成为集成型a—si太阳能电池的重要技术之一。目前，应用的激光刻蚀工艺是通过近红 nm)和绿光(532 外(1064 nm)相结合实现的。这两种波长的激光与材料的相互作用是通过热传导传递能量的 热效应，刻蚀过程中热传导必然会引起刻蚀边缘的热影响区和造成刻蚀边缘非晶硅薄膜的晶化及缺陷浓度的 变化。这些因素都会降低电池的光电转换效率，甚至会增强电池光致衰减效应。紫外(355nm)激光刻蚀是利 用其波长短，光子能量大，从而能直接打断非晶硅链接物质原子组分的化学键，实现加工效果的“冷”加工，减小 了刻蚀边缘的热影响及其引起的晶化和缺陷浓度。近年来国内外对薄膜电池的研究主要集中以下3种方向来 nm激光 层。国外采用不同脉宽的激光对薄膜刻蚀的工艺方面进行比较研究…。本文通过比较采用纳秒355 和目前主流技术红外与绿光结合刻蚀效果，改善激光薄膜刻蚀工艺，减小刻槽边缘的热效应、a—si晶化和残留 碎屑，实现提高电池的输出性能和稳定性。 l实验材料与方法 图1为实验装置图。该装置包括控制电脑、激光器、扩束镜、振镜组、聚焦镜和工作平台。其中控制电脑控 制激光器的工作与X—y振镜的摆动。 实验采用深圳大族激光DRACO系列激光器，激光器参数如表1所示。为了提高光斑质量，利用8倍扩束 镜和4mm光阑在聚焦镜前对高斯模式光斑进行整形。采用电子万用表测量透明导电薄膜隔离电阻，采用电 裹l实验激光器特性 T曲Iel Cha憎cleristi岱Ofthela靶rusedinthiswork *收稿日期：2011—1l·03；修订日期：2012—04-09 重点项目(20lOA090200048)；广东省教育厅学科建设专项(C10360) 作者简介：张超(198s一)，男，硕士研究生，研究方向为激光先进技术lzhcha085@163．com。 通信作者：张庆茂(1966一)，男．博士．教授，从事激光先进制造技术的研究；zhangqm@scnu．edu．cn。 强 激 光 与 粒 子 束 第24卷 曼散射光谱仪(RenishawJny函)分析非晶硅薄膜刻蚀边