碳纳米管工具电极的导电性能.pdfVIP

第22卷第3期 光学精密工程 V01．22NO．3 Precision and 2014年3月 Optics Engineering Mar．2014 文章编号 1004—924X(2014)03—0679—08 碳纳米管工具电极的导电性能 孟岭超1’2，曾永彬1’孔，曲宁松1’2，朱荻1’2 (1．南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016； 2．江苏省精密与微细制造技术重点实验室，江苏南京210016) 摘要：基于纳米试验系统研究了碳纳米管工具电极的在线制备和导电性能测试方法。首先利用电弧放电将碳纳米管焊 接在钨针尖上，制备碳纳米管工具电极；然后在线测试碳纳米管工具电极的伏安特性，分析碳纳米管与钨针焊接前后电 阻的变化。通过局部焦耳热法改善碳纳米管与钨针的接触特性，用Au离子溅射法降低碳纳米管工具电极的电阻，提 高电极的整体导电性能。试验结果表明，碳纳米管与钨针焊接后，电路中的电极电阻明显降低，碳纳米管工具电极的 电阻约为130kfl，经过90S局部焦耳热处理后，电极电阻降低到55kll左右，比原电阻减小约60％，接触性能明显改 善；再经过Au离子溅射处理后，电极电阻进一步降低到40kQ左右，比原电阻减小约70％，从而显著提高了碳纳米管 工具电极的导电性能。 关键词：碳纳米管工具电极；电压焊接；伏安特性；局部焦耳热Au离子溅射 中图分类号：TG662文献标识码：A doi：10．3788／OPE0679 Electrical ofcarbonnanotubetoolelectrodes conductivity MENG Yong—binl’“，Qu Dil’2 Ling—cha01～，ZENG Ning—son91～，ZHU MechanicalandElectrical Aeronautics (1．Collegeof Universityof Engineering，Nanjing Astronautics，Nanjing2i0016，China； and Precision 210016，China) 2．JiangsuLaboratoryof Micro-manufacturingTechnology，Nanjing *Co，．rPs户。卵di聍g Abstract：The methodand testOfCarbonNanometer preparation performance on were thebasisofananometertest CNTelectrodewas volt— explored system．Firstly，a preparedby arc characteristicoftheCNTelectrodewasmeasuredonlineto age discharge．Then，thevolt—ampere the CNT resistancevariationof andthe needlebeforeandafter analyze tu