薄膜工程技术与应用.DOCVIP

國立台灣大學 九十六 學年度第 一 學期 機械工程學系教師課程教學規劃表 一、課程基本資料 課程名稱 中文：薄膜工程技術與應用 英文：TECHNOLOGY AND APPLICATIONS OF THIN FILMS 課程類別 □必修 □知識領域選修 ▓一般選修 ▓大學部 ▓研究所(組別： ) 班次 授課教師 王建義 學分數 3 課程編號 522 U5240 每週上課時數 3 選修人數 40 上課時間 五678 先修課程 適修年級 二、課程教學目標與預期成效 課程教學目標： 教導學生明瞭薄膜形成有關之氣體分子運動理論、真空技術等基本理論，物理氣相沉積法、化學氣相沉積法之薄膜工程技術；亦傳授薄膜生長過程與結構變化、薄膜之特性評估技術，其中也涉及薄膜之應用。期望讓學生對薄膜形成能具有基礎認識，徹底了解相關理論，進而能夠獨立執行薄膜相關研究，成為將來光電、半導體或能源等相關產業之薄膜技術人才。 單元主題 預期教學成效 教學策略及方法 評量方式 養成 核心能力 真空技術 了解薄膜製作所需之真空技術，包括氣體分子運動理論、真空泵、真空量測方法。 A. 講述教學法 B. 討論教學法 g.課堂討論 h.教授、助教觀察紀錄 1.運用數學、科學及材料科學與工程知識的能力 4.執行實驗所需技術、技巧及使用實驗工具解決問題之能力 物理氣相沉積法 了解薄膜之物理氣相沉