不同粒径研磨粉对制备研磨垫之性质评价-工学院.PDFVIP

工程科技與教育學刊 第 11 卷 第2 期 第264-273 頁 民國103 年6 月 不同粒徑研磨粉對製備研磨墊之性質評估 1 2 3 1 1* 蔡坤成 、趙玉盞 、謝正悅 、陳妍婷 、何宗漢 1 國立高雄應用科技大學 化學工程與材料工程系 2 東方設計學院 美容與生活應用學位學程 3 中華醫事科技大學 職業安全衛生系 * E-mail: thho@.tw 摘 要 本文主要探討研磨墊結構中加入不同粒徑研磨粉，其在物性上以及分散均勻性上的影響。將不同粒徑的研 磨粉加入研磨墊內後，觀察研磨墊的整體結構包含分散均勻度、結構穩定性。實驗結果顯示，當研磨墊內所添 加的研磨粉粒徑＜1.30μm 時會有明顯分散不均的現象，以粒徑 1.56μm 添加則可有效改善分散不均，以及解 決循環管路內的濾網堵塞狀況。研磨粉的粒徑大小對研磨墊製備時之發泡性特性沒有顯著影響。 關鍵詞：化學機械研磨、玻璃、研磨墊、研磨粉 1. 前 言 隨著平面顯示器的廣泛應用，輕薄短小的玻璃成為關鍵技術，而化學機械研磨對玻璃減薄也就越顯重要。 不同粒徑的研磨粉加入研磨墊內後，研磨墊的整體結構包含分散均勻度、結構穩定性會受到影響。1988 年Hsu 等人，在酸性條件下，以沈澱方式將不同的含鈰離子的鈰鹽用來製備分散性良好以及粒徑分佈狹窄的氧化鈰顆 粒，從結果得知因為四價鈰離子其表面上的電荷比較多，致使水合作用的產生也較強烈，因此發現了 pH 值對 氧化鈰粉體形狀的影響[1] 。1995 年J. A. Switzer ，以硝酸鈰與氨水作為起始原料，利用電化學的合成方式製備 出結晶性良好的氧化鈰粉體。透過溶液溫度的修正來控制粒徑的大小，生成粒徑約在 10～14nm 間，在未經熱 處理前，以電化學法合成的氧化鈰，具有不聚集、均一顆粒大小的特性[2] 。1997 年Zhou 等人，利用水熱法將 硝酸鈰與氨水置於水熱下反應，並探討燒結行為之分析。實驗結果發現：水熱法可以得到數十奈米且具結晶性 的氧化鈰粉體。微細的氧化鈰粉體大約在 800～900℃左右便開始燒結，在 1150℃可達到理論密度為 98％的燒 結體，比傳統氧化鈰之燒結溫度降低了數百度，因此證明了奈米級的粉體可降低燒結溫度及提升燒結速率[3] 。 2002 年 Yin 等人，利用聲化學合成方式，以硝酸亞鈰及偶氮二甲醯胺為材料，添加不同添加劑 （乙二胺或四 烷基氫氧氨鹽），探討添加劑在氧化鈰的粒子尺寸及粒子分佈上的影響，並以紫外光-可見光吸收光譜觀察， 由不同添加劑與不同添加劑的量所產生吸收峰藍移的量子尺寸效應4 。 2. 研磨墊介紹與化學機械研磨原理 2.1 研磨墊[5] [6] [7] 目前所使用之研磨墊材質大多為聚胺酯（Polyurethane ）系列，為一彈性體、多孔隙的聚合物材料，必須 能夠承載磨料液，又能夠傳遞被拋物工件的下壓力，同時不致於刮傷被拋物工件的表面，是化學機械拋光製程 之主要耗材之一 ；功用為磨去被拋物工件的表面，另外還需能夠涵養與輸送拋光液，將拋光後之削屑排出。研 磨墊的材料單純，但其物性條件相當複雜，諸如：厚度、密度、壓縮率、回覆率、硬度、摩擦係數、接觸角、 表面粗糙度、孔洞大小、孔洞數量等特性均會直接影響到化學機械拋光最終的拋光品質。總和來說，研磨墊基 Journal of Engineering Technology and Education , ISSN 1813-3851 不同粒徑研磨粉對製備研磨墊之性質評估 265 本上所需具備的功能與條件如下： (1) 研磨墊對研磨液的保持性要好，使其能夠均勻的運輸拋光液至研磨墊的各個