[信息与通信]薄膜电子技术绪论.pdf

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2018-02-15 发布于浙江
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[信息与通信]薄膜电子技术绪论

薄膜电子技术授课教师：胡明 2009-8-31 11 绪论  薄膜的定义 研究“薄膜”的意义和“薄膜科学与技术”学科的出现  薄膜的应用（薄膜的分类）  薄膜的特点  薄膜科学技术的研究现状  薄膜科学与技术的发展前景 2009-8-31 22 2009-8-31 3 2009-8-31 4 MEMS Capacitor Fabrication Low Temp. Oxide Aluminum (1) Si-Wafer Aluminum Low Temp. Oxde Aluminum (2) Si-Wafer Photo-Resist Aluminum Low Temp. Oxide (3) Aluminum Si-Wafer Aluminum Photo-Resist Aluminum Low Temp. Oxide (4) Aluminum Si-Wafer Air-gap Aluminum Aluminum Low Temp. Oxide Aluminum (5) 2009-8-31 Si-Wafer 55