材料生长下传动系统的设计.pdf

毕业设计（论文 ） 题 目 材料生长下传动系统的设计 专 业 机械设计制造及其自动化 班 级 机054 学 号 3050211116 学 生 魏锋昌 指导教师 刘云霞 副教授 二○○九 年 系 系 主 任 批准日期 毕 业 设 计（论 文）任 务 书 054 054 机械设计 系 机械设计制造及其自动化 专业 机005544 班 学生 魏锋昌 一、毕业设计(论文)课题 材料生长下传动系统的设计 二、毕业设计(论文)工作自 2009 年 3 月 30 日起至 2009 年 6 月 19 日止 三、毕业设计(论文)进行地点 本校 四、毕业设计(论文)的内容要求 1.查阅相关的国内外文献及资料，对国内外类似设备的现状及 发展趋势有一定的了解，写出5000字左右的文献综述。 2.根据设计任务要求（见后面），认真、仔细地分析硅单晶生 长系统的组成，各组成部分的功能，重点了解作为下传动的坩 埚随动系统的功能，运动要求等，确定坩埚随动系统的设计方 案（注意多种方案比较并择优），并绘制出工作原理图。 3. 完成结构设计,进行传动系统计算 。 4.撰写设计说明书。说明书内容如下： 1）目录； 2）毕业设计（论文）任务书； 3）拟订系统功能原理方案，绘制工作原理图； 4）进行运动学和动力学设计计算； 5）参考资料； 5．翻译2000左右单词的相关外文资料。 功能简介及主要技术指标 近年来，硅单晶生长工艺有了较大的长进，直拉法是其中的 一种。在抽成真空或者充入惰性气体的炉室中，将原料装入坩埚， 利用感应加热装置或者电阻加热装置把原料熔化，再将熔体温度 稳定化。随后控制籽晶的运动，新的晶体在籽晶上长成。 下传动坩埚精密运动系统是直拉法生长系统的很重要的一 个组成部分，实现坩埚的跟随运动，主要由直线往复运动和旋转 运动组成，要求具有很高的运行精度，并要保持长期的稳定性、 高的可靠性。其主要技术参数如下： 1.坩埚工进升降运动速度范围： 0.02～2.5mm/min 2.坩埚快速升降运动速度范围： ～50mm/min 3.坩埚旋转运动速度范围： 1～30r/min 4.坩埚炉内有效行程： 400mm 5.系统负载： 100Kg 负责指导教师 刘云霞 指 导 教 师 接受设计论文任务开始执行日期 2009、3、30 学生签名 摘要