半导体材料的华丽家族物理.PDF

半导体材料的华丽家族3 ) ) ) 氮化镓基材料简介 孙 殿 照 中国科学院半导体研究所材料中心 北京 摘 要 基氮化物材料已成功地用于制备蓝 绿 紫外光发光器件 日光盲紫外探测器以及高温 大功率微波电 ! ! ! 子器件 由于该材料具有大的禁带宽度 高的压电和热电系数 它们还有很强的其他应用潜力 诸如做非挥发存储器 ! 以及利用压电和热电效应的电子器件等 在 世纪 年代末和 年代初 在 基氮化物材料的生长工艺上的突 破引发了 年代 基器件 特别是光电子和高温 大功率微波器件方面的迅猛发展 文章评述了 基氮化物的 ! 材料特性 生长技术和相关器件应用 ! 关键词 氮化镓宽禁带半导体 ΕΞΟΤΙΧΦΑΜΙΛΨΟΦΣΕΜΙΧΟΝΔΥΧΤΟΡ ΜΑΤΕΡΙΑΛΣ ) ) ) ΒΡΙΕΦΙΝΤΡΟΔΥΧΤΙΟΝΤΟΓαΝΒΑΣΕΔ ΜΑΤΕΡΙΑΛΣ ≥⁄2 ΜατεριαλΧεντερΙνστιτυτεοφΣεμιχονδυχτορσΧηινεσεΑχαδεμψοφΣχιενχεσΒειϕινγ Χηινα Αβστραχτ √∏∏∏∏ΠΠ√2√∂2 2∏2√√⁄∏ √∏ √ √√×∏√∏ ∏√2 √∏√2∏2√√√√2 ∏√∏√2 Κεψωορδσ 2∏ 两套面心立方结构沿对角线方向平移Π对角线长 度套构而成 这两种结构基本类似 每个 族原 氮化镓基材料的特点及其应用 ∂ 子都与最近邻的 个 族原子成键 其区别在 ∂ 氮化镓基材料 或称氮化镓及其相关氮化物材 于堆垛顺序 纤锌矿沿 轴 方向的堆垛顺序 χ 34 料 材料 是指元素周期表中 族元素铝 为 , 闪锌矿沿34方向的堆垛顺序为 ! ! 在通常的条件下 热力学稳定相是纤锌 镓 铟和 族元素氮形成的化合物 ≤≤ , !