[信息与通信]ic_fab_tech_chap3_IC_process_intro.pdfVIP

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2018-02-17 发布于浙江
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第三章集成电路制造工艺概况集成电路制造工艺概况微固学院邓小川 xcddeng@@uesttc.eddu.cn 1 33.11 引引言言集成的晶集成的晶体管数量近20亿工艺设芯计计片片 2 33.11 引引言言本章主要内容本章主要内容：：  CMOS工艺流程工艺流程  CMOS制作步骤本章知识要点：  掌握典型CMOS集成电路制造工艺流程；  了解CMOS制造工艺14个步骤的主要目的；  知道知道66种主要制作工艺种主要制作工艺。 3 3.2 CMOS工艺流程 4 33.22 CMOSCMOS工艺流程工艺流程 + V DDDD S GG CMOS反相 pMOSFET 器的电路图 D 见书本P53， Input Output 图3.21 。 D nMOSOSFET GG S - V SS