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PECVD操作规范培训 1 安全警告 设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、微波辐射等危险 严禁无关人员进入机器黄色区域 机器运行时，严禁拔出微波铜天线，严禁拆设备任何部件。否则可能带来微波辐射和高压电击等危险 未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机 2 安全与标识 威胁人身伤亡或健康 微波辐射危险 微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2 表面温度高 3 开机 开总电源 启动计算机 检查冷却水 检查气源 启动“system”程序 3.1 开总电源 检查三只红色急停按钮是否复位，如末复位拉出复位 向右转动主电源断路器手柄复位，然后向左转动手柄，主电源合闸 机器上指示灯、温控仪表点亮 可确认总电源已开启 3.2 启动计算机 轻压一下工控机主机上“POWER”按钮，启动计算机 3.3 检查冷却水 冷却水压力应在4-6kg/cm2范围内 先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀 检查、调节水流量计，ww1-4 为 10L/min , ww5-6为 6L/min，ww7-12 为 2.5L/min (设备人员调节) 3.4 检查气源 打开压缩空气阀，压缩空气为 5-7kg/cm2 打开氮气阀，氮气压力小于5kg/cm2 3.5 启动“system”程序 用鼠标左键双击电脑桌面上“system”图标 启动后登入自己使用权限帐号 4 选择工艺单、生产 开真空泵，预加热 启动指定工艺 检查工艺运行情况 放置空石墨框进行传动状态测试 工艺调试，生产 4.1 开真空泵，预加热 检查机器无故障显示后，开真空泵 预热腔和反应腔预加热 当反应腔真空压力达到1.5e-2mbar,温度达到预设定的值，即可启动工艺 4.2 启动指定工艺 打开墙壁气箱中特气阀 点击“control”控制按钮，“ technology ”框中选择规定的工艺单后，加载“ load ”, 启动工艺“ start ”，在“ transportation ”框启动传动 4.5 进行工艺调试，生产 在进料台处放置空石墨框进行工艺调试，生产 放置、检查好石墨框后，按“进板请求”，使机 器传动运行 在出料台处按“返板请求”，使石墨框返回到进料台处 5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫 关上位于墙壁气箱中特气阀 通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫 5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2 进入“system”状态画面，点击“pumps”控制按钮，弹出下拉菜单 等待真空泵净化N2气阀关闭 点击三个真 空泵“pump off”控制按钮关掉真空泵 点击反应腔“vent”控制按钮,向机器腔体冲入净化N2，等待冲好指示灯点亮 5.4 退出控制程序，关主电源 进入“service”状态画面，点击系统中“switch off”控制按钮，计算机显示回到win-nt 画面 进行正常关计算机操作 用手按压一下红色急停按钮，关闭主电源，拉出红色急停按钮复位 5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水 关上压缩空气、氮气阀 等十五分钟后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀 PECVD生产操作规程 完 ? Figure 10: Process chamber Figure 12: Gas system * * 触电危险 戴防护眼镜 戴防护手套 4.3 检查工艺运行情况 过程状态画面框显示过程执行“process running” 压力控制 微波开启 特气开启 以上条件满足方可启动工艺 4.4 传动状态测试 在进料台处放置空石墨框进行传动状态测试 PECVD装片与卸片 PECVD装片： 装片时，一只手持片盒（小面朝上），另一只手持真空吸笔，这样即可以装片。 PECVD装片与卸片 PECVD卸片： 卸片时，一只手承载盒，另一只手持真空吸笔，这样即可以卸片。 注意： 如果镀膜之后SiN膜的颜色不一致或颜色偏离正常的范围的电池片，须进行返工。 PECVD镀膜前 PECVD镀膜后 5 停机 停止工艺运行 关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫 关掉真空泵,向机器腔体冲入净化N2 退出控制程序“system”,关主电源 关上压缩空气、氮气、冷却水 5.1 停止工艺运行 鼠标点击“control”按钮，弹出下拉菜单 点击工艺“stop”按钮 点击传动“stop”按钮 ? ?