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长度测量中干涉条纹的自动识别技术研究
32 Vol. 32 No.
2003 ACTA PHOTONICA SINICA May 2003
苏俊宏
( , 710032)
利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用FFT 分析干涉条纹方法, 分析 解决了测量端
面长度标准中条纹图的处理技术, 应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度, 而且大大地提高
了测量结果的精度, 给出了最典型的端面长度标准量块的干涉条纹小数部分的实测结果
量块; 激光干涉测量法; 干涉条纹处理
O4361 TB921 A
[4]
,
0
, L = (N+ ) / 2+ C (1)
, L , N
[ 1~ 2] , , , C
,
, 1
, He-Ne
( 633 nm 43 nm) ,
, ,
2
, L
/ 2 ,
, ,
L 2
( )
,
,
[ 3]
N, ,
,
( FFT) , 图1 新型柯氏干涉仪原理
, Fig1 Diagram of new type Keskers interferometer
, ,
,
1
,
,
Tel:029 3208062 图2 一组典型的干涉条纹
收稿日期: 2002 12 16 Fig2 A set of typical fringes
616 32
* - j2f x
, 633 nm , c (x, y) e 0 + n(x , y) ( )
= m/ M, , M ( ) x FFT ,
( ) I (f , y) = A (f , y) + c(f - f , y) +
0
; m *
c (f -f , y) + N(f , y) (6)
0
, I (f , y) , A (f , y), N (f , y ) i (x ,
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