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半导体存储器技术Semiconductor Memory Technologies 内容：非挥发性存储器：快闪存储器 §5 半导体存储器集成工艺 §5.1 CMOS集成工艺技术 §5.2 DRAM存储器集成工艺 §5.3 Flash存储器集成工艺 §5.4 器件与工艺的仿真设计 参考文献： SILVACO用户手册 Silvaco Tutorial §5.4.1 Introduction §5.4.2 Getting Started §5.4.3 Athena §5.4.4 Atlas §5.4.5 Tonyplot Introduction 仿真器: Athena：工艺仿真器 仿真工艺过程，输出器件物理结构 Atlas：器件仿真器 根据物理结构，在特定偏置下仿真器件电气性质 交互式工具: Deckbuild：交互式运行环境 Tonyplot：交互式图形环境 Silvaco Tutorial §5.4.1 Introduction §5.4.2 Getting Started §5.4.3 Athena §5.4.4 Atlas §5.4.5 Tonyplot Getting Started 登陆至unix工作站 开启一个终端 点击右键?工具?终端 Getting Started 建立工作文件夹，并进入工作文件夹