半导体工艺和器件仿真软件tcad简介.pdfVIP

半导体工艺和器件 仿真软件(TCAD) 简介 编辑：盛阳 夏长生 上海市中山北路2790 号906 室 邮编：200063 电话: +86 21 传真: +86 21 邮箱: info@ 网址: 目录 1 公司简介 3 分支机构和客户3 荣誉3 产品线5 中国分公司5 2 各 TCAD 软件6 2.1 APSYS Advanced Physical Models of Semiconductor Devices 6 2.2 LASTIP LASer Technology Integrated Program 9 2.3 PICS3D Photonic Integrated Circuit Simulator in 3D 11 2.4 CSUPREM Crosslight -SUPREM 13 2.5 PROCOM PROcesses of COMpounds 15 2.6 NovaTCAD 17 1 公司简介 分支机构和客户 Crosslight 软件公司是半导体工艺模拟和器件模拟(TCAD)工具的行业领导 者，由李湛明(Z.M. Simon)博士创立。李博士毕业于世界顶尖的加拿大 UBC 大 学，随后在加拿大国家科学院工作， 期间的工作成果在 1993 年转化为 Crosslight 公司的软件产品。目前公司总部位于美丽的加拿大国温哥华市。总部 以外，Crosslight 公司在中国大陆（上海），中国台湾，日本设有分公司，在韩 国和印度设有代理机构，同时也和美国欧洲等地多位科学家和研究机构有合作关 系。作为 TCAD 仿真工具领域的顶级供应商，公司目前拥有遍布世界各地的几 百家客户，其中包含 Intel ，三星，华为等顶级跨国企业，为新型半导体产品的 研究和开发贡献着一份力量。 荣誉 公司研发的 Pics3D 软件作为世界上第一个半导体激光器件和光子集成电路 仿真的商业化产品，在 1998 年获得了《Laser Focus World》（光子和光电子 工业权威杂志）颁发的商业技术成就奖。 2015 年，著名化合物半导体杂志《Compound Semiconductor 》为 Crosslight 公司撰写了专栏文章，以表彰其提供的工业级仿真工具。专栏中说道： Crosslight 公司为业界提供了半导体激光器仿真的顶级优秀工具，并以此为基础 扩展成为全面帮助人们理解 III-V 族化合物技术的高级工具。 产品线 在 20 多年的时间里，Crosslight 公司致力于提供半导体器件和工艺仿真的 最先进工具。器件仿真方面，从基本的金属氧化物半导体场效应晶体(MOSFET) 到复杂的半导体器件，如：垂直腔面发射激光器(VCSEL)和量子级联激光器(QCL) 等，各种不同的半导体器件皆可经由 Crosslight 开发的三个器件仿真软件 (APSYS、LASTIP 以及 PICS3D)进行仿真和分析。工艺仿真方面，Crosslight 的 CSUPREM 软件改进了斯坦福大学集成电路实验室所研发的 SUPREM.IV GS 程序的软件，用作硅和砷化镓的工艺仿真，且提供完整的 3D 工艺模块。此外， Crosslig