[计算机软件及应用]单晶炉操作说明.doc

． 全自动单晶炉操作手册 REV. MANUAL_ZJS.Z02 （TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS适用） 2009年05月 上 虞 晶 盛 机 电 工 程 有 限 公 司 SHANGYU JING SHENG ME ENGINEERING CO., LTD 目 录 第一章 单晶生长条件…………………………………………………………………………2 1.1 设备要求…………………………………………………………………………………2 1.2 辅料要求…………………………………………………………………………………3 1.3 安全要求…………………………………………………………………………………4 第二章 单晶生长标准流程 …………………………………………………………………5 2.1 拆炉………………………………………………………………………………………5 2.2 装炉………………………………………………………………………………………6 2.3 开始单晶的生长…………………………………………………………………………8 2.4 抽真空……………………………………………………………………………………9 2.5 检漏………………………………………………………………………………………11 2.6 压力化……………………………………………………………………………………12 2.7 熔料………………………………………………………………………………………13 2.8 稳定化……………………………………………………………………………………15 2.9 熔接………………………………………………………………………………………16 2.10 引晶…………………………………………………………………… ………………18 2.11 放肩…………………………………………………………………… ………………19 2.12 转肩…………………………………………………………………… ………………20 2.13 等径…………………………………………………………………… ………………21 2.14 收尾…………………………………………………………………… ………………22 2.15 停炉…………………………………………………………………… ………………23 第三章 单晶生长辅助流程 …………………………………………………………………24 3.1 中途取晶…………………………………………………………………………………24 3.2 回熔………………………………………………………………………………………26 3.3 煅烧………………………………………………………………………………………26 3.4 大清………………………………………………………………………………………27 3.5 连接部位检查……………………………………………………………………………27 第四章 相机调整与热场温度校正…………………………………………………………28 4.1 相机调整…………………………………………………………………………………28 4.2 热场温度调整……………………………………………………………………………32 第五章 异常情况处理…………………………………………………………………………33 5.1 断水………………………………………………………………………………………33 5.2 电极故障…………………………………………………………………………………33 5.3 打火………………………………………………………………………………………33 附录 故障速查………………………………………………………………………………34 第一章 单晶生长条件 1.1 设备要求 1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上； 炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤； 水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟； 水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC； 水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥2.5升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2升；辅助真空球阀：0.5升。 （3）电力要求