MEMS技术是许多传感器的关键要素-Ansys.PDFVIP

高科技 MEMS技术是许多传感器的关键要素，而传感器生成的数 据将推动物联网的发展。一位资深的MEMS研发人员介绍 了创建可靠MEMS所涉及的一些问题，同时提供了一些有 助于设计工作的最佳仿真实践。 作者：Alissa 机电系统(MEMS)作为一种制造技术，可用于 Fitzgerald ， 在硅晶圆上创建多种不同类型的传感器，如 美国Burlingame市 温度、运动、压力、声音等传感器。MEMS A.M. Fitzgerald 微 A s s o c i a t e s 公司 传感器作为当今智能互联产品的“眼睛” 创始人兼管理人员 和“耳朵”，能够从环境中获取信息，例如汽车轮胎的空气 压力，或者用来记录您行走步数的身体运动信息。根据预 测，MEMS传感器将实现快速的增长曲线，因为物联网(IoT) ^ 由AMFitzgerald设计和构建 的MEMS悬臂式传感器 能接收来自数十亿MEMS传感器的信息，并利用这些数据智 © 2016 ANSYS, INC. ANSYS ADVANTAGE 17 打造物联网传感器 （续） 1200 运的是，采用最佳实践可完美解决这些挑战：参数化分析 1000 法可确定未知材料属性的影响，并将测试结果与仿真结果 进行综合，以校正边界条件。凭借这些技术方法，研发人 800 ) 员可获得有用的仿真结果，从而减少制造次数，并且更快 a P M ( 600 速、更低成本地将MEMS器件推向市场，而这些成果令传统 400 构建测试法望尘莫及。 200 MEMS研发挑战 0 0.01 0.10 1.00 10.00 半导体制造行业已经研发出 (um) ^ MEMS材料属性与技术和工具相关。 了相关的工艺设计套件(PDK) ； 这些套件包含标准单元库、设计规则、仿真模型和布局 300 9 信息，可用于在特定代工厂中利用专门技术来生产IC 。此 9 11 200 11 外，该行业还从一系列经过充分验证的设计与过程仿真工 12 12 具中大获裨益。因此，只要芯片企业遵守PDK指南并尽早