PRECISION-电涡流传感器.PDFVIP

LION PRECISION 技术说明 LT02-0021 • 2012 年 8 月 真空中的电涡流传感器 适用设备： 电涡流位移测量系统 应用： 真空中的所有电涡流测量应用 概述： 本技术说明描述了在真空应用中使用电涡流传感器的注意事项，此类应用包括： 脱气 馈通连接器 低压电弧 探头产生的热量 典型配置 Lion Precision • 563 Shoreview Park Rd. • St. Paul, MN 55126 • 651-484-6544 • • info@ ©2012 保留所有权利 脱气 脱气问题。 可以耐受高真空的任何物质均有可能释放隐藏的气体。这些气体可在真空环境中 导致表面氧化或污染。在应用中，脱气可能对工艺或设备造成严重的损坏。高真 空探头的材料和工艺设计旨在将脱气的程度降至最低或者消除脱气现象。 可将脱气的程度降至最低的探头构造材料 探头构造采用的主要材料为金属外壳、PEEK （聚醚酮纤维）导体和电缆布线。真 空兼容探头是由 303 不锈钢构造的。探头中的环氧树脂已经过特殊测试，适用于 需要低脱气性能的真空应用。探头电缆布线采用 PTFE （聚四氟乙烯) 护套，它具 有高度稳定性，并且产生的脱气非常少。 在装运前可选择加热除气 在装运前，所有探头都被彻底清洗，并被密封在塑料袋中。真空兼容探头亦可视 情况进行“加热除气”。在轻微的真空环境中，此类流程可在 80°C 的温度下对 探头烘烤数小时。在此流程中，聚集的湿气和气体都会从探头中去除，并且碳氢 化合物也会远离表面。然后，探头将被专门包装，以尽量降低污染。 馈通连接器（耦合器） 通过真空室的墙壁，采用真空兼容耦合器或馈通来完成连接。真空兼容探头带有短的 电缆，其中含有连接至 Lemo 密封耦合器真空侧的小型 5 针 Lemo 连接器（图 1）。 1.34 英寸