[工学]第4章常用传感器与敏感元件3.pptVIP

3.7.4 湿敏电阻传感器 所谓湿度，就是空气中所含有水蒸气的量。湿度对产品质量和人类生活有重大影响。 湿敏半导体材料多为金属氧化物材料，是烧结型半导体材料，一般为多孔结构的多晶体。典型材料有四氧化三铁(FE403)、铬酸镁-二氧化钛(MgCr204-TiO2)、五氧化二钒-二氧化钛(V205-Ti02)、羟基磷灰石(Cd10(P04)6(OH)2)、及氧化锌-三氧化二铬(ZnO-Cr203)等。其中Fe403多制成胶体湿敏元件。 3.7.4 湿敏电阻传感器 当水分子在陶瓷晶粒间界吸附时，可离解出大量导电离子，这些离子在水的吸附层中担负着电荷的输运，导致材料电阻下降。即大多数半导体陶瓷属于负感湿特性的半导体材料，其阻值随环境湿度的增加而减小。随着湿度的增加，此类半导体陶瓷的阻值可下降3—4个数量级。 金属陶瓷湿敏的基本原理 3.7.5 固态图像传感器 原理：把接收到的光像分成许多小单元(称为像素)，并将它们转换成电信号，然后顺序地输送出去的器件。 结构：是一种小型固态集成元件，它的核心部分是电荷耦合器件(Charge Coupled Device，简称CCD)。CCD由阵列式排列在衬底上的金属-氧化物-半导体(Metal Oxide Semiconductor，简称MOS)电容器组成，它具有光生电荷、积蓄和转移电荷的功能。 固体图像传感器原理与结构： 3.7.5 固态图像传感器 在光照下，光生少数载流子在光敏单元中积蓄。每个单元所积蓄的电荷量与该单元所接受的光照度、电荷积蓄时间成正比。 在光敏单元接收光照一定时间后，转移控制栅打开，各光敏单元所积蓄的电荷就会并行地转移到CCD读出移位寄存器上。 随后控制栅关闭，光敏单元立即开始下一次的光电荷积蓄。与此同时，上一次的一串电荷信号沿移位寄存器顺序地转移并在输出端串行输出。 线性CCD图像传感器： 3.7.5 固态图像传感器 优点：具有小型、轻便、响应快、灵敏度高、稳定性好、寿命高和以光为媒介可以对人员不便出入的环境进行远距离测量等诸多优点。 固体图像传感器的优点与应用： 主要用途有： 1)物位、尺寸、形状、工件损伤等测量。 2)作为光学信息处理的输入环境，如摄影和电视摄像、传真技术、光学文字识别技术和图像识别技术中的输入环节。 3)自动生产过程中的控制敏感元件。 固态图像传感器依照其光敏单元排列形式分为线型、面型等种。已应用的有：1024、1728、2048、4096像素的线性传感器，面型阵有32×32、100×100、512×512、512×’768等等像素的，目前最高像素已达1100多万。 3.7.5 固态图像传感器 两个线型固态图像传感器1、2置于铝板的上方，板两端的一小部分处于传感器的视场内，依据几何光学，可以测得宽度l1、l2，在已知视场距离lm时，就可以算出铝板宽度L。 图中图像传感器3用来摄取激光在板上的反射，其输出信号用来补偿由于板厚变化造成的测量误差。整个检测系统由微机控制，可实现在线实时监测，对于2m宽的板材，测量精确度可达士0.25％。 实例：热轧铝板宽度检测 3.8 红外测试系统 红外辐射又称红外线(光)，指太阳光中波长比红光长的那部分不可见光。 3.8.1 红外辐射 红外线的波长大致在0.76～1000μm的范围内，相对应的频率大致在4×104～3×1011Hz之间。通常根据红外线中不同的波长范围又分为近红外线(0.76～2.5μm)、中红外线(2.5 ～ 25 μm)、远红外 线(25 ～ 1000 μm)三个区域。 3.8 红外测试系统 斯蒂芬一玻耳兹曼定律： 式中，M—单位面积的辐射功率(W·m-2)； σ—斯蒂芬一玻耳兹曼常数，等于5.67×10-8w·m-2·K-4； T—热力学温度(K)； ε—比辐射率(非黑体辐射度／黑体辐射度)。 3.8.1 红外辐射 3.8 红外测试系统 普朗克辐射定律（黑体辐射定律）： 式中Mλ—波长为λ的黑体光谱辐射通量密度(Wm-2·μm-1)；C1—第一辐射系数，C1=3.7415×10—16w·m2：C2 —第二辐射系数，C2=1.4388×10-2m·K；T—热力学温度(K)；λ—波长(μm)。 在任何温度下能够全部吸收任何波长的辐射的物体 普朗克定律揭示了不同温度下黑体辐射通量按波长分布的规律 3.8.1 红外辐射 3.8 红外测试系统 3.8.2 红外探测器 红外探测器是将辐射能转换成电能的一种传感器。按其工作原理可分为热探测器和光子探测器。 1 热探测器 热探测器是利用红外辐射引起探测元件的温度变