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薄膜材料与技术（3） 李美成 2008秋季学期 第三章 气体放电和低温等离子体 3.1 低温等离子体 3.2 低气压气体放电 3.3 气体的激发和电离 3.4 气体放电的基本特点 3.5 辉光放电的特性 3.6 弧光放电的特性 由于气相沉积是在低温等离子体中进行的 低温等离子体物理基础 低气压气体放电使气体和膜层原子电离 产生高能电子、高能离子和高能中性原子 改善薄膜的组织结构并促进化学反应过程 有利于化合物薄膜的形成 学习等离子体形成过程 + 气体放电特性对掌屋各种离子沉积技术和控制薄膜质量是非常必要的。 3.1 低温等离子体 低温等离子体物理概述 3.2 低气压气体放电 3.3 气体的激发和电离 金属中自由电子的运动产生电流； 导电液体，NaCl溶液离子传导电流； 气体中荷电粒子？ 原子壳层?电子?能级 自由电子 中性原子在碰撞中夺得一个自由电子变成一个带负电的质点，称为负离子。 一般气体不易形成负离子，卤素元素、氧、水等的分子或原子常易捕获多余的电子，形成负离子；负电性元素或负电性物质。 气体放电过程中，许多因素引起气体电离或激发，称为游离源。 3.4 气体放电的基本特点 导电机理 1．外界因素对气体的刺激 在自然界存在着各种辐射线，如紫外线，宇宙射线