金属一绝缘体一金属结构的表面等离激元受激放大辐射放大器的研制.PDFVIP

第 32卷 第 8期 光 学 学 报 Vo1．32，No．8 2012年 8月 ACTA OPTICA SINICA August，2012 金属一绝缘体一金属结构的表面等离激元受激放大 辐射放大器的研制 李志全 朱 君 牛立勇 孙宇超 李文超 ／ 燕 山大学电气工程学院，河北 秦皇岛 066004 、 ＼东北大学秦皇岛分校 自动化系，河北 秦皇岛 066004／ 摘要 为 了研究用于表面等离子(sP)波 的可集成表面等离激元受激放大辐射 (SPASER)放大器 ，设计 了植入饱和 吸收体的金属一绝缘体一金属 (MIM)结构放大器 的基本组成 。根据 SPASER的基本原理 ，对激射条件进行 了分析 ， 给出了放大器的制作工艺和抽运脉冲的设计 以及性能指标 。结果表 明研制 的放大器在选择 566nm波长的入射光 和 532nm波长 的抽运光 ，放大区采用长度范围为 1～1．5 m 的条件下 ，其脉冲响应时间可达 100fs，带宽为 1．5～ 2THz，SP的放大增益为 3o～60dB。该 SPASER放大器研究将为大规模集成光子学芯片设计提供理论和技术基 础 ，可在下一代高速通信系统中得到广泛应用 。 关键词 非线性光学；量子光学；表面等离子激元 ；金属一绝缘体一金属波导；弛豫振荡 中图分类号 0437．4 文献标识码 A doi：10．3788／AOS2O1232．0823002 M anufactureofSPASER Amplifierwith Metal-Insulator-Metal Structure LiZhiquan ZhuJun NiuLiyong SunYuchao LiWenchao。 ／ CollegeofElectricalEngineering，YanshanUniversity，Qinhuangdao，Hebei066004，China 、 ＼DepartmentofAutomation．NortheasternUniversityatQinhuangdao，qinhuangdao，Hebei066004，China／ Abstract Inordertoresearch theintegration surface plasmon amplification by stimulatedemission ofradiation (SPASER)amplifierforsurfaceplasmon (SP)amplification，thebasiccomponentsofamplifierwhich includesmetal— insulator—metal(M IM)structureembededbythesaturation absorberaredesignedanddiscussed．According tothe basicprinciple ofSPASER，stimulated emission conditions are analyzed．Meanwhile，the fabrication processof amplifierand pump pulse are designed，and the performance index is given． The resultsshow thatunder the conditionsof the incident lightwavelength of 566 nm ，pump lightwavelength of 532 nm and the length of amplificationregionof1～ 1．5um ，thepulseresponsetimecanreac