MCV-500激光多普勒干涉仪介绍-美国光动.PDF

MCV-500 激光多普勒干涉仪介绍 激光多普勒干涉仪(Laser Doppler Displacement Meter)简称 LDDM，是由美国光动公司 (Optodyne, Inc.)总裁王正平博士发明的激光精密测量系统。该系统广泛应用于机床、坐标测量机、 X-Y 平台和各种精密仪器的测试和校准，它配上不同附件以后可检测加工中心 21 项误差中的 18 项误 差。现就该系统的原理、功能、特点简单介绍如下。 1. 激光多普勒干涉仪的特点 1) 一般激光干涉仪的工作原理 A. 迈克尔逊干涉原理，也就是分光干涉原理。激光头发出的激光束，射到分光镜以后，激 光束经过分光镜的分光膜以后，分成二束光。 B. 第一束光（50% ）：被分光膜反射以后射向参考镜，经参考镜反射以后再射向分光膜，经 分光膜反射以后射向探测器。 C. 第二束光（50% ）：透过分光膜反射以后射向靶标反射镜，经靶标反射镜反射以后再射向 分光膜，透过分光膜以后在探测器处与第一束光发生干涉，产生干涉条纹。 D. 通过测量干涉条纹的数量可以计算出靶标反射镜的相对位移量。 2) 激光多普勒干涉仪的工作原理 美国光动公司(Optodyne.Inc.)设计制造的激光多普勒干涉仪(LDDMTM ）是应用雷达原理、 多普勒效应及光学外差原理，与多普勒雷达原理相似。激光束经由反射镜反射时，因反射镜 的运动而造成多普勒的频率偏移（Doppler shift ），可表示如式 1。 =Δ(2 ff /C ) v Δ2或(Δ2θ/ f ) πc z Δ (1) 其中，Δf 及Δθ为频率及相位偏移，Δv 及Δz 为反射镜的速度及位移，变量f 是激光频率， C 是光速。当相位传感器量测到由反射镜位移所造成的相位变化时，若位移大于半波长度 / 2 λ ，计数器会记录全部的相位变化： =Δ θ 2πN +φ (2) 其中，N 所代表的是半波长度，φ是小于2π 的相位角，因此总位移Δz 可表示为 c =Δ ( +z / 2 )Nφ π (3) 2f 微处理器会计算读取的计数器和相位角，转换成英制或公制的移动量，以十进制来显示， 第 1 页 共 26 页 补偿因温度、压力及湿度变化所造成的光速变化，并连结外部计算机或控制器。 3) 光学系统上的比较 A. 一般激光干涉仪光学系统图：由激光头、干涉系统(又称干涉镜、内有分光系统和参考镜)、 靶标反射镜三大部份组成。 B. 激光多普勒干涉仪光学系统图：由激光头、靶标反射镜二大部份组成。 4) 激光多普勒干涉仪的特点 序 方 面 LDDM 其它激光于涉仪 1 测量原理 多普勒 分光干涉 2 测量基准 激光波长 激光波长 3 测量方法 测量相位差 测量干涉条纹数 4 空气温度补偿 有 有 5 空气压力补偿 有 有 6 空气湿