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双频激光干涉仪操作手册ZLM700ZLM800-上海贝丁汉工业自动化
本手册为翻译件
内容仅供参考
德国JENAer 公司
双频激光干涉仪操作手册
ZLM 700
ZLM 800
用于平移量和旋转量测量的设备
(使用角隅反射镜、平面反射镜和测角反射镜)
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