椭圆偏光仪Ellipseometer-微奈米科技研究中心.PDFVIP

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2018-03-02 发布于天津
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椭圆偏光仪Ellipseometer-微奈米科技研究中心

NCKU STNRC Center at NCKU Page1 NCKU STNRC Center at NCKU Page1 橢圓偏光儀 Ellipseometer 本文件及文件之內容屬國科會南區微系統研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Taiwan Nanotechnology Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission ! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP Ellipsometer 12345-678 1 Wen Liang Liu 2003/12/8 NCKU STNRC Center at NCKU Page2 NCKU STNRC Center at NCKU Page2 目錄 1.0 橢圓偏光儀原理介紹………………………………………………………………4 1.1 前言…………………………………………………………………………………4 1.2 橢圓偏光儀基本結構圖……………………………………………………………5 1.3 基本原理……………………………………………………………………………8 2.0 儀器介紹……………………………………………………………………………14 2.1 橢偏儀示意圖………………………………………………………………………14 2.2 LPS-400 示意圖……………………………………………………………………15 2.3 EC-270示意圖………………………………………………………………………16 3.0 操作步驟介紹………………………………………………………………………16 3.1 開機程序……………………………………………………………………………16 3.2 入射光源的校正……………………………………………………………………23 3.3 測量標準片的薄膜厚度……………………………………………………………26 3.4 樣品的測試…………………………………………………………………………29 3.5 測量薄膜厚度………………………………………………………………………30 3.6 關機程序……………………………………………………………………………31 4.0 廠商資料……………………………………………………………………………32 本文件及文件之內容屬國科會南區微系統研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of