雷射在空气中微量气体分子的检侧技术研究.PDFVIP

行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 ▓成果報告 □期中進度報告 雷射在空氣中微量氣體分子的檢側技術研究 Study on the techniques of laser detection for trace gas molecules in atmosphere 計畫類別：▓個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 91 －2112 －M －007 －057 執行期間：91 年 8月 1日至 93 年 1月 31日 計畫主持人：蕭憲彥 共同主持人： 計畫參與人員：徐徳義 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：□精簡報告▓完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計 畫、列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：國立清華大學 中 華 民 國 93 年 3 月 10 日 摘 要 本計畫以三年的時程，針對空氣中的微量氣體分子，研究雷射檢測 的方法與系統。本報告將研究結果加 以整理，內容包括大氣中微量氣體 檢測介紹，氣體吸收譜線的光譜理論，共振腔增強之吸收譜線計算模擬， 雷射腔內樣品調制原理，雷射光學系統架構， 2 µm 二極體 DFB雷射之共 振腔增強吸收實驗設計與結果，射頻激發 CO 雷射腔內聲光檢測實驗設 2 計與結果，以及射頻激發 CO 雷射腔內樣品調制吸收檢測之實驗構想與 2 設計。 關鍵詞：雷射氣體偵測、共振腔增強吸收光譜儀、雷射腔內光聲檢測、 雷射腔內樣品調制檢測。 Abstract In this 3-year project, the laser based methods and systems for sensitive detection of trace molecules in atmosphere have been studied. In this report, we give a brief introduction about the topic and importance of trace gas sensing. We summarize the basic mechanism and property of spectroscopic molecular absorption, the calculation of transmittance for resonator enhanced absorption, the behavior of intracavity photoacoustic sensing, and the proposal of intracavity sample modulation detection. We describe the experimental setup and results that demonstrated the detection of sample gases using 2 µm DFB diode laser and RF excited CO2 laser. Keyword: laser gas sensing, resona