AtomicForceMicroscopy原子力显微镜.PPTVIP

AFM歷史發展 * 在1982年以前，能直接看到原子結構的儀器只有場離子顯微鏡 (Field Ion Microscopy, FIM) 與電子顯微鏡 (Electron Microscopy, EM) 。 在 1982年， G. Binning 與H. Rohrer 發明掃描式穿隧顯微鏡 (Scanning Tunneling Microscopy, STM) 。 1985 年，G. Binning、C. F. Quate及Ch. Gerber 利用當時的STM 技術，發展出一套能偵測探針與樣品間的凡得瓦爾 (van der Waals , VDW )力的原子力顯微鏡 (Atomic Force Microscopy,AFM)。 掃描式探針顯微鏡(SPM)家族 * SPM 量測特性 Scanning Tunneling Microscopy , STM : 電子穿隧作用力 Scanning Force Microscopy , SFM : 原子間的作用力 Scanning Near-field optical Microscopy , SNOM :在遠小於一個波長的距離內(即近場中)進行光學量測 Scanning Thermal Microscopy , STHM :樣品表面熱能的傳遞 * AFM原子力顯微鏡-原理 * 凡得瓦爾力 在一個電荷對稱分佈的中性原子，會自發或被感應而產生偶極，如圖(a)所示，若電子在極短時間內產生運動，會使原子內部產生極短暫的電荷不均勻分佈，形成偶極，如圖(b)所示。這些偶極會感應鄰近原子產生再偶極，並形成兩個原子間的吸引力，稱之凡得瓦爾力。 電子雲 圖(a)電性對稱之原子 圖(b)感應原子偶極 (a) (b) 電子雲 原子核 * 圖(c) 原子間凡得瓦力和距離關係 原子力顯微鏡(AFM)原理 利用探針與品間的原子作用力作為做為交互作用，基本儀器主要由四個部分所組成(如圖d): (1)壓電陶瓷掃描器 (2)探針及懸臂 (3)雷射二極體 (4)四象限的光偵測器 Z X .Y Z軸資訊 XY軸資訊 影像 圖(d) 原子力顯微鏡基本構造 雷射二極體 反射鏡 探針、懸臂 A B C D * 原子力顯微鏡(AFM)儀器 壓電陶瓷掃描器 在壓電片上施加電壓，會使它發生伸縮的現象， 如圖(e、f)所示。 伸長 壓電片 壓電片 縮短 正電壓 負電壓 圖(e) 壓電片之伸長 圖(f) 壓電片之縮短 控制x、y軸電極，讓sample來回掃描。 控制z軸電極，調整sample和針頭的距離。 * 探針圖(g)及懸臂圖(h)是整個AFM核心所在，探針的形狀對圖像的解析度有極大的影響。 每一支探針皆有一個自然的共振頻率及彈性係數，二者取決於懸臂的材質和它的幾何形狀及長度。 探針尖其曲率半徑約在數十個奈米(nm)之間，通常由Si或Si3N4製作而成，亦有奈米碳管製作而成的探針，可獲得更佳的解析度。 懸臂 探針 圖(g) 探針的SEM 影像 圖(h) 懸臂的OM影像(200倍) 探針及懸臂 * 10 – 15 μm 尖端半徑小於8nm 支架1.6 x 3.4 mm (一)STM 探針(STM tip) STM 探針的作用是偵測表面原子與探針尖端原 子間的電子穿隧(tunneling)作用，因此探針與欲偵測的 表面必須具導電性。經由電流偵測電路，我們可以偵 測此穿隧電流，其大小通常為數個奈安培(nA)。為了 達到原子解析度，探針尖端與表面最接近的地方往往 只有一顆原子。常用的STM 探針為鎢絲(tungsten wire) 以KOH 或NaOH 水溶液經由電化學蝕刻而成。 (二)SFM 懸臂與探針(SFM cantilever and tip) SFM 測的是探針與表面原子間的作用力，因此一般我們將SFM 探頭設計為 一微小的懸臂(cantilever)，其一端固定在基板上，另一端附有一凸出的探針(tip)， 當此tip 與表面產生交互作用力時，會使cantilever 產生一極小的彎曲，藉由測量 此彎曲量在tip 位置上的位移以及cantilever 的力彈性係數(force constant,κ)，即可 獲得此交互作用的的大小。 (三)SNOM tip 掃描式近場光學顯微儀(SNOM)的基本原理 是由Synge 與O’Keefe 分別在1928 及1956 年所 提出，其利用在遠小於一個波長的距離內(即近場 中)進行光學量測，以避免在大於一個波長距離後 (即遠場中)，光波動性質的呈現，以獲得超越繞 射極限(diffraction limit)的空間解析度。因此，其 探針必須在極為靠近表面的近場中，且偵測光的 口徑大小亦需遠小於光的波長。 (四) * (