[工学]第三章2 电镜分析.pptVIP

第三章其它现代分析方法 X-射线衍射 电子显微镜 热分析 概述 人的眼睛的分辨极限是0.1mm; 光学显微镜的分辨极限是0.2微米； 更小的物体怎么看见？？？ 电子显微镜 电子显微镜的发展史 电镜的分辨率不断提高，透射电镜的点分辨率达到了0.2-0.3nm，晶格分辨率已经达到0.1nm左右，通过电镜，人们已经能直接观察到原子像； 另一方面，除透射电镜外，还发展了多种电镜，如扫描电镜、分析电镜等。 目录 透射电子显微镜TEM 扫描电子显微镜SEM 其它电镜 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM） 结构与性能 衬度原理及电子衍射原理 样品的制备方法及电镜图像的分析 应用 透射电子显微镜结构 TEM电子光学系统结构图 TEM的主要性能指标 分辨率：首要指标，反映了其观察物质微观细节的能力。在电子图像上能分辨开的相邻两点在试样上的距离为点分辨率，能分辨出的最小晶面间距为线分辨率。 放大率：电子图像相对于试样的线性放大倍数。有效放大倍率 是指将最小可分辨距离放大到人眼可以分辨的大小所需要的放大率。它与仪器的分辨率相匹配。 加速电压：电子枪中阳极相对于灯丝的电压，决定了电子束的能量。加速电压高，可直接观察较厚的试样。一般电镜的加速电压为 50-200kV。 相机长度：相机长度范围大，有利于做更多的电子衍射工作。 高分辨电镜 高分