大气压平板介质阻挡多脉冲辉光放电的形成-华南理工大学.PDFVIP

等学校自然科学奖项目公示 项目名称：大气压平板介质阻挡多脉冲辉光放电的形成、特性和机理 推荐单位：华南理工大学 项目简介 目前，低温等离子体技术已广泛应用于材料表面改性、半导体工业、等离子 体显示及污染物处理等领域。通常产生等离子体的方法有电弧放电、电晕放电和 介质阻挡放电(dielectric barrier discharge，DBD) ，其中，大气压DBD 由于不需要 复杂且昂贵的真空设备，因而在工业上的应用前景十 广阔。一定条件下，大气 压DBD 可以形成均匀稳定的放电状态，此时外加电压每半周期有一个电流脉 冲，并且放电空间类似于低气压辉光放电的结构，称为大气压辉光放电 (atmospheric pressure glow discharge，APGD) 。当条件不如单脉冲辉光放电苛刻 时，大气压DBD 中还存在另外一种常见放电形式，放电在外加电压每半个周期 内形成多个电流脉冲，放电峰持续时间长 （约μs 级），称为多脉冲放电。显然， 多脉冲放电如果是均匀稳定放电则更易于实现工业化。然而，大气压平板介质阻 挡多脉冲放电是否均匀放电，其形成、特性和机理还不清楚，有必要开展深入研 究。