[理学]8自动检测技术与仪表-机械量检测.ppt

第二篇 过程参数检测技术 自动检测 技术与仪表 * 化学工业出版社 第二篇 过程参数检测技术 4 温度检测 7 物位检测 5 压力检测 8 机械量检测 6 流量检测 9 成分分析仪表 8.1 模拟式位移检测 8.2 光学数字式位移检测 8.3 转速检测 8.4 力的检测方法 8.5 加速度与振动检测 8 机械量检测 8 机械量检测 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 8.1.2 电感式位移检测方法 8.1.3 差动变压器位移检测方法 8.1.4 光纤位移检测方法 8.2 光学数字式位移检测 8.2.1 光栅标尺 8.2.2 莫尔条纹标尺 8.2.3 激光扫描测长与图像检测 8.3 转速检测 8.3.1 离心力检测法 8.3.2 光电码盘转速检测法 8.3.3 空间滤波器式检测法 8.4 力的检测方法 8.4.1 金属应变元件 8.4.2 半导体应变元件 8.4.3 压电效应 8.4.4 压敏导电橡胶 8.5 加速度与振动检测 8.5.1 加速度检测原理 8.5.2 动电型振动检测方法 8.5.3 微机械加速度传感元件 变面积 (S)型 变极距 (d)型 变介电常数 (ε)型 电容式传感器的 三种类型 ㈠基本原理 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 差动结构 一般结构 电容式 位移检测的 三种方法 ① ② ③ 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ①变面积型电容式位移传感器 初始电容量： 灵敏度： 电容变化量： △C与x为线性关系 ㈠基本原理 定极板 动极板 电容量： 当被测量的变化产生了x 时， 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ②变极距型电容式位移传感器(一般结构) 若△d/d01，上式可简化为： C与△d 近似为线性关系 初始电容量： 电容变化量： 灵敏度： ㈠基本原理 C与△d 为非线性关系 电容量： 当被测量的变化引起间距减小了Δd 时， （电容量增加了ΔC） d0 定极板 动极板 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ③变极距型电容式位移传感器(差动结构) 初始电容量： ㈠基本原理 电容变化量： 灵敏度： 若△d/d01，简化为： “差动式”的非线性得到了改善，灵敏度也提高了一倍。 d0 d0 定极板 动极板 定极板 电容量： 动极板 上移Δd 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ㈡测量电路 用于电容式传感器的测量电路 很多，如交流电桥电路、运算放大器电路、脉宽调制电路和调频电路等。 右图为差动电容式传感器接入 变压器交流电桥测量电路，当输出为 开路时，电桥的输出电压为： 动极板 上移x时 动极板 下移x时 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ㈢电容式位移检测的应用 测轴回转精度和轴心偏摆 电容式接近开关原理框图 测振幅 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ㈢电容式位移检测的应用 容栅传感器 直电极反射式结构形式 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ㈢电容式位移检测的应用 容栅传感器 测量原理 有相对移动时： →产生电容周期变化 →输出周期变化信号 →输出信号反映位移 8.1 模拟式位移检测 8.1.1 电容式位移检测方法 ㈢电容式位移检测的应用 容栅传感器 信号处理方式 鉴幅式测量电路 加上同频、 同相但幅值不等的交流激磁电压， 通过测量输出电压的幅值，就可间接测量位移的大小。 系统可达到0.001mm分辨力，主要在测长仪上使用。 鉴相式测量电路 加上等幅等频，相位差为90°的交流电压， 通过测量输出电压的相位，就可间接测量位移的大小。 系统分辨力为0.01mm，主要在数显量具上使用。 8.1 模拟式位移检测 8.1.2 电感式位移检测方法 8.1.3 差动变压器位移检测方法 ☆变磁阻式传感器 8.1 模拟式位移检测 8.1.4 光纤位移检测方法 参见教材P107内容 8.2 光学数字式位移检测 8.2.1 光栅标尺 ☆光栅传感器 8.2.2 莫尔条纹标尺 8.2 光学数字式位移检测 8.2.3 激光扫描测长与图像检测 参见教材P108~109内容 8.3 转速检测 转速是各类旋转机械和电机运行中的一个重要物理量， 在各种技术测试和监控中需要对其进行精确的测量。 转速测量方法可以分为两类： 直接法：直接观测机械或电机的机械运动，测量特定时间内机械旋转的圈数，从而测出机械运动的转速； 间接法：测量由于机械转动导致其他物理量的变化，从这些物理量的变化与