深紫外固态激光源前沿装备研制.PDFVIP

国家重大科研装备研制项目 National RD Projects for Key Scientific Instruments 深紫外固态激光源前沿装备研制 1* 2 2 3 1 4 文/曹 凝 金 鹏 王占国 陆兴华 姚冠辉 詹文山 1 中国科学院条件保障与财务局 北京 100864 2 中国科学院半导体研究所 北京 100083 3 中国科学院物理研究所 北京 100190 4 中国科学院理化技术研究所 北京 100190 【关键词】重大科研装备研制项目，深紫外固态激光源前沿装备，中科院 1 科学背景 是利用可见或近红外全固态激光器为基频 光源的多级非线性