ORIONNanoFab显微镜三种离子束在亚10纳米级加工.pdf

产品信息 ORION NanoFab 显微镜 三种离子束在亚 10 纳米级加工中的全方位灵活运用 网络链接 视频/动画 版本 1.0 ORION NanoFab 显微镜：集三种离子束显微技术的一体化加工成像平台 ORION NanoFab显微镜 借助ORION NanoFab显微镜可以实现高效、高精度的亚10纳米级结构加工。氖 三种离子束在亚 10 纳米级 离子束用于提供高效率的纳米加工。氦离子束则用于亚10nm结构的超高精度加 加工中的全方位灵活运用 工。配有镓粒子束（FIB）镜筒的ORION Nano是独一无二的：他是全球唯一的 集镓、氖、氦三种离子束为一体的成像加工平台，覆盖了微米尺度到纳米尺度 的加工应用。 › 概述 › 优势 › 应用 50 nm 使用镓、氖及氦离子在玻璃表面涂镀的 100 纳米厚金 › 系统 膜内加工等离子双领结结构。 › 技术与详细介绍 › 服务 2 ORION NanoFab 显微镜：更简单、更智能、更高度整合。 ORION NanoFab显微镜 高效的亚10nm结构加工 集三种离子束显微技术于一体 高分辨率成像 三种离子束在亚 10 纳米级 采用传统的镓离子FIB无法实现低于10nm尺度的加 借助 ORION NanoFab 显微镜可实现在镓、氖及 充分发挥 ORION NanoFab 显微镜高分辨率成像 加工中的全方位灵活运用 工精度。利用ORION NanoFab的氦、氖离子束可 氦离子束之间实现无缝切换。使用可选配的镓聚焦 性能：借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加 以快速、精确的进行亚10nm级加工精度。无论使 离子束功能进行大规模材料去除。利用性能强大且 工仪器中实现样品的高分辨率成像。电荷补偿技术 用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是刻蚀技 柔和的氖离子束快速完成精密纳米加工。氦离子束 令其在非导电样品成像中更胜一筹。与使用场发射 术，在亚10nm加工应用中 ORION NanoFab表现 则用于建立要求超高加工精度的微细亚 10 纳米级