三轴式压电微加速度计之设计与系统建模.pdf

論文類別 1. Actuators and Mechanical/Physical Sensors 2. Design and Analysis 三軸式壓電微加速度計之設計與系統建模 1* 2 3 余志成 、李炯達 、張喬凱 1 國立高雄第一科技大學機械與自動化工程學系副教授 2 義守大學機械與自動化工程學系副教授 3 義守大學機械與自動化工程學系研究生 計的探討，上述探討僅探討單軸向加速度量測，並未 摘要 提提出三軸向的探討。接著，Kunz 等人[5]探討十字懸 本文提出可偵測三軸向加速度之壓電微加速度 樑結構所組成的微型雙軸式壓電薄膜加速度計，利用 計；此結構採用＜100＞矽材分別由溼式與乾式蝕刻出 FEM 模擬並實驗製作下的懸樑應力分佈。近期， 一中央振動質塊及其左右四根支撐懸樑，及 8 個壓電 Hindrichsen 等人利用『十』字懸樑支撐島狀中央振動 轉換單元。當振動質塊受不同軸向加速度作用時，會 質塊探討雙軸式加速度計的設計 [8] 。此兩篇的探討僅 產生對稱、非對稱和扭轉三種不同的運動模態，而使 是探討出兩種形式的運動模態並無第三種方式的運動 支撐懸樑產生不同的撓曲現象。使得樑上壓電薄膜所 型情形發生 ；Zhu 等人[6][7]利用 Lagranges equation 探 受應力跟隨懸樑變形而改變，再以適當的電極連結設 討三軸微加速度計，其中探討的彎曲運動，利用 FEM 計，可個別量測三軸向的加速度。本文使用能量法 -卡 驗證其理論設計與模擬結果相符合，並且分析修改其 氏第二定律求得各模態的位移量，並配合虎克定律得 結構尺寸對於敏感度與頻率響應之間的關係，其結果 到各模態下的懸樑系統剛性與機械敏感度。接著利用 並無探討電性分析的探討。 懸樑變形理論積分求得各模態壓電薄膜所產生的電 本文將提出一簡單幾何結構配合壓電轉換單元配 荷，推得電性敏感度與各模態運動下的整體系統轉移 置設計，以量測三軸向加速度。由樑變形與能量法 -卡 函數。最後利用 ANSYS軟體模擬靜態、動態運動模 氏第二定律，並配合壓電薄膜機電轉換積分進行感測 態下的機電特性，驗證理論分析的正確性。相較於有 計的系統建模，並以有限分析法驗證設計的可行性與 限元素分析，理論模式誤差皆小於 3.2% ，並可有效地 建模的正確性。 量測三軸加速度，證實元件設計可行性與模型推導的 2. 微加速度計設計 正確性。 本文提出的微加速度計是由四根懸臂樑、一中央 關鍵字：微感測器，壓電加速度計，三軸加速度，壓 質塊與八片壓電轉換器所構成如圖 所示，微加速度1 電薄膜。 計的製作是選用 100 SOI矽材料 ，以體型微加工濕蝕 1. 前言 刻出概似截頂金字塔形狀的中央質塊，其蝕刻角度為