使用自激振荡法提高原子力光子扫描隧道组合显微镜的.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ４ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．４ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ４ Ａ ｒ．２０１０ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００４０９０６０７ 　 使用自激振荡法提高原子力光子扫描 隧道组合显微镜的扫描速度 王 昭，吴世法，刘 琨 　 　 （大连理工大学 物理系 近场光学与纳米技术研究所，辽宁 大连 １１６０２４） 摘要：介绍了采用频率偏移控制样品／探针间距的原子力光子扫描隧道组合显微镜（ ／ ）。制备了尖端直径 ＡＦＰＳＴＭ ＜１００ ，锥角为 的锐利大锥角探针用于轻敲自激振荡模式的 ／ ，该探针固定在压电陶瓷片上置于一个正反 ｎｍ ６０ ９０° ＡＦＰＳＴＭ ～ 馈回路中激励探针振荡。使用锁相器解调自激振荡探针的频率，调整 方向压电陶瓷的运动使得锁相器检测到的值维 犣 持恒定来跟踪样品的起伏。对外加激励模式和自激振荡模式进行了对比。理论分析表明，自激振荡方法减小了探针响 应时间；测试试验显示，采用自激振荡模式 ／ 的带宽为 ，比外加振荡模式快一个数量级。采用改进后的 ＡＦＰＳＴＭ ５０Ｈｚ 仪器对光栅样品以１Ｈｚ的速度进行了扫描，扫描结果显示，采用自激振荡的方式得到的形貌和光学图像比外加激励模 式更清晰，不仅响应时间更快，通过提高 值还可以提高分辨率而不会增加系统进入稳态的时间。 犙 关 键 词：原子力／光子扫描隧道组合显微镜；自激振荡模式；响应时间 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７４２．９ Ａ 　　 犛犲犾犳狅狊犮犻犾犾犪狋犻狀 犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犳狅狉犻犿 狉狅狏犻狀 犵 狆 犵 ／ 狊犮犪狀狀犻狀 狊犲犲犱犻狀犃犉犘犛犜犕 犵狆 ， ， ＷＡＮＧＺｈａｏ ＷＵＳｈｉｆａ ＬＩＵＫｕｎ （ ，