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划片机配件
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
——陶瓷吸盘及相关产品简介
王先生
邮箱 wls@
QQ 419661107
1、企业简介
1.1综合情况介绍
创建于1958年 ,原机械工业部直属的一类科研院所,是我国磨料磨具行
业唯一的综合性研究开发机构。
全国磨料磨具、超硬材料行业技术研究、开发、信息和咨询服务中心。
1999年转制为科技型企业 ,隶属于 “中国机械工业集团有限公司”。
1、企业简介
1.1综合情况介绍
继1963年和1967年成功开发出中国第一颗人造金刚石和立方氮化
硼之后,我公司又相继开发出树脂金刚石砂轮、陶瓷CBN砂轮等一系列
填补国内空白的超硬材料制品。
1993年以我公司为依托组
建的 “国家超硬材料及制品工
程技术研究中心” ,标志着我
司在行业中的技术领先地位。
1、企业简介
1.2科研情况
通过技术创新,我所在高速、高效、精密磨具的研发与制造技术方面
始终处于国内领先地位。
建所50多年来,研究、开发科研成果1300余项,获国家和省、部级奖
励有150多项。
近5年来,承担各类科研项目
90余项,国家及中央部委级科研项
目20项,其中:
国家重大专项6项
国家科技支撑计划项目2项
科技部科研院所专项资金项
目12项
1、企业简介
1.3产业发展
转制以来,经营收入年平均增长率达到30% 以上,其中以替代进口为主
的新产品贡献率超过60% 。
我所新建的占地6.5万平米的产业化基地,为我所实现新的快速发展创建
了一个更加完善的平台。
2、陶瓷吸盘简介
陶 瓷 吸 盘 (Chuck
Table)是我公司在2003年
开发的新产品 ,几年中大
量替代了进口陶瓷吸盘 ,
应用于硅晶圆片、半导体
化合物晶圆片、玻璃、压
电陶瓷、LED、半导体封
装元件基板、光学元件减
薄、切割等领域。
2.1、陶瓷吸盘类型
按用途陶瓷吸盘分为:
减薄机上配备:磨片吸盘,硅片、蓝宝石衬底等减薄用;
切割机上配备:划片吸盘,硅片、半导体化合物晶圆片等切割用;
清洗机上配备:清洗吸盘;
揭膜机上配备:揭膜吸盘;
贴膜机上配备:贴膜吸盘;
印刷机上配备 : 印刷吸盘。
2.1、陶瓷吸盘类型
划片吸盘
磨片吸盘
陶瓷吸盘
Chuck Table 清洗吸盘
印刷吸盘 搬运吸盘
2.2、涉及到陶瓷吸盘的工艺流程
注:上图所示为两种工艺,共有四处涉及到陶瓷吸盘:
1、背面研削(背面减薄)加工工序需用
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