原子力显微镜与扫描电镜技术2.ppt

* 4）压电冲击式步进逼近驱动技术 步进可控（nm~?m） 100步/秒 M——主质量块，置于平台上； m——小质量块，（配重）； F1——系统运动时所受阻力。 原理： 压电体所加电压Vt的驱动下，以一定的加速度伸缩，配重对主质量块产生冲击，当冲击力 F1时，则系统被驱动。 t3《 t1 由 加速度a（t）须满足条件 可靠地单向运动，a（t）的波形如图示 浙大光电光学工程所 3 三维扫描技术 （1）压电扫描器 1）三角形架 图：三根棱柱相互正交结合，响应可达1.5/V。 Z方向移动，带动X、Y方向的运动，有交叉误差。 2）四象限扫描器 结构简单、刚度好，同样也有交叉误差 3）压电柔性铰链工作台 浙大光电光学工程所 3 三维扫描技术 （1）压电扫描器 1）三角形架 图：三根棱柱相互正交结合，响应可达1.5nm/V。 Z方向移动，带动X、Y方向的运动，有交叉误差。 2）四象限扫描器 结构简单、刚度好，同样也有交叉误差 Vt 微探针 三维PZT（扫描） It 三维移动：利用管状外电极分四象限。可扫描出表面的原子的三维立体图形。 X－；X＋， X方向扫描，向X方向弯曲 Y－；Y＋， Y方向扫描 Z；X－，Y－ ， 作Z向扫描 X、Y方向主要控制进行网格扫描， Z方向扫描使针尖与原子保持恒定力，勾划出表面的原子轮廓。 浙大光电光学工程所 3）压电柔性铰链工作台 新型的微位移扫描工作台 ，特点 结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无间隙。 位移分辨率 1nm，也称为柔性支承。 原理： 采用杠杆原理与柔性铰链结合的整体式结构，利用叠层式压电体作为驱动元件，压电体加压后产生微量位移。 压电效应使杠杆M1上的a点产生一绕支点b转动的微位移； c点产生使杠杆M2一绕支点d转动，并在e点处拉动工作台S作微量位移； 杠杆M3的支点为f，工作台S由两个杠杆M2、M3S上的支点e、g支持。 M1 M2 c M3 压电体 浙大光电光学工程所 压电柔性铰链工作台 清华大学 PI (PHYSIK INSTRUMENTE) 浙大光电光学工程所 （2）压电扫描器的误差： 1）压电体的非线性 加压后实际位移曲线不是线性的，给采样和定位带来误差，最大的非线性误差为?Y/Y—2%~25%，根据材料的不同而变化。 浙大光电光学工程所 利用软件校正 利用软件进行非线性误差的校正 产生一个校正矩阵 浙大光电光学工程所 2）迟滞效应 加压和减压后，压电体变形曲线的路径不同，?Y/Ymax可高于20%。其将影响采样数据点的位置变化，所以采样扫描中可选择单向扫描。影响重复性。 ?V~?Z 浙大光电光学工程所 §1-3 STM的单元技术 1 微探针 2 粗、细微逼近技术及其结构 3 三维扫描技术 4 伺服反馈系统 （1）模拟反馈 伺服系统：设置一比较电压Vset，它是隧道电流变化最灵敏处对应的电压，?V =Vset—Vt，样品表面与设定点的的高度变化，引起了?V的差值，该值可由计算机记录，显示其不同点的高度。 由d变化引起?V; 差分放大?对数放大?积分器; 控制积分器的时间常数。 优点：模拟反馈速度快。 缺点：抗干扰能力差， 精度不高， 计算机 A/D 伺服系统 放大电路 HV It Vt ?V= Vset--Vt 浙大光电光学工程所 计算机各种算法 A/D 差分放大 放大电路 It Vt ?V D/A HV （2）PID数字反馈控制技术 伺服系统：数字反馈控制系统采用A/D转换后的数字信号经过各种控制算法输出控制量，再通过D/A转换为模拟量来实现反馈。 优点：算法灵活多变，抗干扰能力强。 缺点：速度慢，一般到毫秒量级，成本高。 浙大光电光学工程所 §2-1 AFM的测微机理 在1986年Bennig等人研制成功了世界上第一台原子力显微镜（Atomic force microscope，AFM），弥补了STM只能对导体样品才有较高分辨率的缺陷。 第二章AFM技术 一，范德华力 在探针样品体系的远场，即探针和样品间的距离在几十到几百纳米范围内时，主要的相互作用力有范德瓦尔力。 分子或原子之间的相互作用力。原子本身是一个中性电学体系，当它们相距甚远时，各自处于基态，忽略万有引力，原子间的互相作用为零。 微探针──样品相互作用示意图 （其中ε1、ε2、ε3分别是探针、探针与样品之间介质和样品的介电常数） 浙大光电光学工程所 当两者互相接近到数十埃的距离时，通过静电作用，外层电子云分