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白光干涉仪简介
白光干涉儀簡介
WYKO NT 1100
管理者 :王冠儒
指導教授 :洪瑞華 博士
Profilers Family - White Light Interferometers
• Non-contact WYKO NT1100
• High Speed data acquisition
• Large field of view
• Sub-nanometer vertical
resolution
• Ease of use
2
The Platform
3
Interference Microscope Diagram
Digitized Intensity
Data
Detector Array
Filters all but the red
light from white light
of halogen lamp Filter Beamsplitter
Illuminator Translator
Microscope
Light Source
Field Objective
Aperture Stop
Stop Mirau
Controls the size Interferometer
Controls amount of field of view.
of light in
system.
Sample
4
Computerized Interferometric Microscope For Surface Profile
PSI VSI
High Precision Large Dynamic Range
5
Dynamic MEMS Key Technologies – Strobe Illumination
-Actuate MEMS Sample, at
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