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静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计 　　摘 要:信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DDS信号发生器,并分别采用并行和串行2种方式加载芯片控制字,均可生成多路频率相位可调的信号发生器,具有频率稳定性好,频率准确度高及频率分辨率高,相位差精准的特点。关键词:信号发生器; DDS; 同步; 并行加载; 串行加载 　　中图分类号:TN74-34; V241.5文献标识码:A 　　文章编号:1004-373X(2010)18-0110-04 　　 　　Design of Multiple Synchronizing DDS Signal Generator for Electrostatically 　　Suspended Micro-gyroscope 　　QIN Zhen-ni??1,2??, LIU Wu??1,2??, CHEN Wen-yuan??1,2??, CUI Feng??1,2??, ZHANG Wei-ping??1,2?? 　　(1.National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology, Institute of Micro and Nano Science and Technology, 　　Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200240, China; 2.Key Laboratory for Thin Film and Micro-fabrication of Ministry of Education, 　　Institute of Micro and Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200240, China) 　　Abstract: The signal generator is an essential part of the electrostatically suspended micro-gyroscope system. Differential capacitance detection method is usually adopted to get the micro displacement of rotor, whose amplitude demodulation need stable multi-channel synchronous signals. This signal generator is based on ARM7 LPC2148 can control multi AD9850s to produce multi-channel signals, whose frequency and phase controllable precisely with either parallel load or serial load ??method??, and characterized by high frequency stability, accuracy, resolution and phase precision.Keywords: signal generator; DDS; synchronizing; parallel load; serial load 　　 　　0 引 言 　　静电悬浮微陀螺作为一种新颖的MEMS陀螺,是当代微惯性传感器发展的一个重要方向。它由悬浮扁平转子和上下定子电极组成。通过在电极上施加直流电压产生静电力支承悬浮扁平转子,并利用静电微马达的工作原理来驱动旋转悬浮转子。根据悬浮微转子高速旋转产生的陀螺效应,借助力矩再平衡原理测量双输入轴角速度;同时,利用旋转微转子借助力平衡原理可测量线加速度[1-3]。由于转子悬浮,无法直接从转子引线,通常采用灵敏度高的差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移[4]。微陀螺定子上的电容极板与转子形成差分电容对和公共电容,载波经上、下定子上的差动电容极板输入,公共电容极板上的输出信号反映的是经过载波调制的差动电容变化的交流信号。差动电容的大小与交流信号的幅值成正比,当转子发生线位移或角位移时,在公共电极上将产生表示转子相应位移的交流检测电流信号。 　　而要获取交流信号的幅值,需要使用与原载波信号同频率、相位可调的参考信号对它进行幅值解调。而传统的R