[工学]第4章 电容式传感器-2西理工传感器原理及应用课件.pptVIP

第三节 主要性能、特点和设计要点 一、主要性能 （一）静态灵敏度 1.变极距型（倒数关系） 即 灵敏度：随?而变，不是常数，? 减小，灵敏度增加。但要注意空气的击穿电压为3kV/mm，云母的击穿电压为103kV/mm。一般取25?m～1mm之内，?? ? ?????m ～零点几mm。 2.变面积型（线性关系） （二）非线性 气隙型的非线性与电感式相同。 为减小非线性取???0。为了改善非线性，可采用差动式，灵敏度也提高一倍。 如采用容抗XC=1/（?C）为输出，则为线性关系，不一定满足???0的要求。 变面积和介电常数型线性较好，因边缘效应，有一定的非线性。 二、特点（与电阻、电感式相比） 1.温度稳定性好； 2.结构简单，适应性强； 3.动态响应好； 4.可以实现非接触测量，并且具有平均效应； 5.高灵敏度和分辨率。 1.输出阻抗高，负载能力差 举一例：圆形平板电容d=40mm，?0=0.25mm，U=30V，f=400Hz，起始电容C=44.5pF，容抗Xc=11.1 ? 106? , Pc=U2?C=10-4 W，若?? = 0.1 ?0，则? C=4.45pF。 几何尺寸不宜做大，一般为几十到几百皮法，甚至只有几个皮法，因此输出阻抗高，尤其当使用音频电源时，可达106~ 108 ?，因而负载能力差，且易受外界干扰产生不稳定现象、采用高频供电，可降低输出阻抗，但高频放大、传输远比低频复杂。 2.寄生电容影响大 由于自身电容比较小，所以电缆电容（1~2m导 线可达800pF)、线路的杂散电容以及传感器的内 极板与周围导体构成的电容等影响很大。不仅减 低了传感器的灵敏度，而且这些电容（如电缆电 容）常常是随机变化的，将使仪器工作很不稳定， 影响测量精度。 3.输出特性非线性 （由于边缘效应和变间隙式自身的非线性） 三、设 计要点 1.减小环境温度、湿度等变化所产生的误差，保证绝缘材料的绝缘性能。 2.消除和减小边缘效应 使灵敏度降低，产生非线性。 a：适当减小极间距，使极径与间距比很大，但易产生击穿并有可能限制测量范围。 b：可采用电极做得极薄，使与极间距相比很小的办法来减小边缘电场的影响。 3.消除和减小寄生电容的影响 寄生电容与传感器的电容相并联，不仅影响灵敏度，还要影响精度（它的变化为虚假信号）。 可采用下列方法： 1）增加原始电容值（又叫寄生电容溺没法）。 减小极板间距或极筒间的间距（平板式0.2~0.5mm，圆筒式间距0.15mm），增加工作面积或工作长度。一般电容值变化在10-3~103pF范围内，?C/C在10-6~1范围内。 2）注意传感器的接地和屏蔽 4）采用“驱动电缆技术”（也叫“双层屏蔽等位传输”技术） 基本思路：连接电缆采用内外双层屏蔽，使引线 与内屏蔽的导线电位相同，这样引线与内屏蔽 之间的电缆电容将不起作用，外屏蔽仍接地而起 屏蔽作用。 5）采用运算放大器法 利用运算放大器的虚地来减小电缆电容Cc的影响。 4.防止和减小外界干扰 1）屏蔽和接地：用良导体做传感器的壳体，将传感元件包围起来，并可靠接地。 2）增加原始电容值，降低容抗。 3）导体与导线远离，尽量短，最好直角排列，平行时用同轴屏蔽线。 4）尽量一点接地，避免多点接地。地线要用粗良导体或宽印刷线。 5.尽量采用差动式 可减小非线性误差，提高传感器的灵敏度，减小寄生电容的影响和减小干扰。 第四节 电容式传感器的应用一、电容式差压传感器：（差压、压力、流量、液位、传声器、听诊器） 二、电容式加速度传感器三、电容式位移传感器（测力：平行框架结构） 位移1 位移2 四、电容式液位（料位）传感器 非接触检测塑料管道内溶液液位。当液位达到设定高度并超出时，溶液进入电容式传感器检测范围，传感器产生输出信号传送给控制机构，控制机构报警或进行其它动作，达到液位控制的目的。 五、电容式湿度（水份）传感器 它是在绝缘衬底上制作一对平板金（Au）电极，然后在上面涂敷一层均匀的高分子感湿膜作电介质，在表层以镀膜的方法制作多孔浮置电极（Au膜电极），形成串联电容。 六、电容式测厚仪 C1、C2工作极板与带材之间形成两个电容， 其总电容为C= C1+C2 。 当金属带材在轧制中厚度发生变化时，将引起电容量的变化。 通过检测电路可以反映这个变化，并转换和显示出带材的厚度。 七、电容式转速传感器 当齿轮转动时，电容量发生周期性变化，通过测量电路转换为脉冲信号，则频率计显示的频率代表转速大小。 设齿数为z，频率为f，则转速为: 第五节 电容式集成传感器 运用集成电路工艺把电容敏感元件与测量电路制作在一起而构成。(MEMS) 一、基